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CVD 노

실험실 1200C 단일 구역 관상로 CVD 체계

실험실 1200C 단일 구역 관상로 CVD 체계

  • 제품 번호.:

    TMAX-1200CVD
  • 지불:

    L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
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    Xiamen Port
  • 리드 타임:

    5 Days
  • 자격증 :

    CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate
  • 보증 :

    Two years limited warranty with lifetime technical support
제품 세부 정보

실험실 1200C 단일 구역 관상로 CVD 체계


그만큼 CVD 체계 으로 구성되다 가스 공급 시스템 + 관로 + 진공 시스템 , 최대 온도는 1200 도, 1400 도, 1600 도 및 1700 도. 가열 영역은 단일 온도 영역, 이중 온도 영역, 3 개의 온도 영역 등이 될 수 있습니다. 궁극적 인 진공은 도달 할 수 있습니다. 10-3Pa . 가스 공급 시스템은 질량 유량계 또는 플로트 유량계 흐름 규제. 믹싱 채널 수는 2 채널, 3 채널, 4 채널 및 5 채널이 될 수 있습니다.


관로의 상세한 기술적 인 매개 변수

유형

1200-I

1200-II

1200-III

1200V

1200-VI

1200-VII

3.5KW

3.5KW

3.5KW

5KW

6KW

7KW

튜브 크기 (OD (mm)

직경 60 X1000

Dia80X1000

Dia100X1000

Dia150X1000

Dia200X1000

Dia250X1000

치수

1140X450X690

1140X450X690

1140X450X690

1110X530X755

1120X580X805

1314X680X905

전원 전압

220V

단계

단상

발열체

저항선

온도 조절


UAV 프로그램 온도 제어 기기 (표준)

1, 30 단 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정.

2. 함께 과열 보호, 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. 온도가 과열 또는 고장, ( 전기로 온도가 1200 도를 초과하거나 열전대가 끊어지면 주 회로의 AC 릴레이가 자동으로 차단되고 주 회로가 파손됩니다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시 등 꺼짐, 꺼짐 표시 등 켜짐, 제한된 보호 전기로).

3, 485 통신 인터페이스 (표준 구매시 소프트웨어)

4, 전원 끄기 보호 기능, 즉, when 전원이 꺼진 후 전원이 켜지면 프로그램이 시작되지 않습니다. from 시작 온도, 그러나 퍼니스 온도 상승 from 정전시

5, 미터는 온도 자체 조정

(수입 된 악기를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다. 선택 사항)

FP93 온도 조절기 (shimashima, 일본) 유럽 ​​악기 터치 스크린 악기

챔버 재료


1. 고품질 고순도 진공 흡입 여과에 의해 형성된 알루미나 다결정 섬유 경화로.

2. 일본 기술에 의해 형성됨.

3. 용광로의 저항선 간격과 피치는 모두 일본 최고의 열 기술에 따라 배열되며 온도 필드는 열 소프트웨어로 시뮬레이션됩니다.

밸브 및 플랜지


60 / 80 / 100 상단 전망

온도 교정 (선택 사항)

튜브 퍼니스의 정기적 인 온도 보정은 퍼니스 온도의 정확성과 균일 성을 유지합니다. 당신 간단한 교정 도구를 구입할 수 있습니다. from 이 일을 도와 줄 회사 완전한 교정 키트에는 표준 열전대 S 형, 온도 교정기가 포함됩니다.

제어 정확도

+ / - 1 ℃

방아쇠

위상 편이 방아쇠

전기기구

절강 chint

실리콘 제어

106 / 16ESEMIKRON

최대 온도

1200 ℃

정격 온도

1150 ℃

가열 속도

≤30 ℃ / Min ( 필수대로 수정 가능)

권장 온도 상승률

≤15 ℃ / 분

열전대 유형

k 유형

가열 길이

400 ~ 440mm

일정한 온도 길이

150mm

온도 필드 곡선


주변 표면 온도

≤45 ℃

오픈 커버 보호 시스템

시기 퍼니스 커버가 열리면 릴레이가 자동으로 주 전원 공급을 차단하여 사용자의 안전을 효과적으로 보장합니다.



VS-0.1 진공 시스템 (VRD16)

시스템 (관로의 진공을 0.6Pa로 펌핑 할 수 있음) 흡입 플랜지로 구성 (자체 제작) KF25 인터페이스, 고진공 배플 방식, 저항 진공 게이지, 벨로우즈, 브래킷 (수제), 진공 펌프는 플랜지 출구에 티 파이프를 연결하고, 저항 실리콘을 3 방향 파이프의 한쪽 끝에 연결하고, 고진공 플래퍼 밸브를 다른 쪽 끝은 Dia25의 주름으로 플래퍼 밸브와 진공 펌프를 연결하고 KF25 연결 포트 용 퀵 클램프 .

1. 압력 감지 시스템

ZDR-I / ZDR-I-LED 유형 단일 저항 진공 게이지

저항 진공 게이지 ( Pirani 진공 게이지) 특별히 안정화 된 ZJ-52T 저항 게이지를 사용하고 새로운 항온 작동 모드를 상수 전력에 적용합니다. 동시에 마이크로 프로세서를 사용하여 비선형 성 규정의. 선형 처리. 안정적인 성능, 넓은 측정 범위, 빠른 응답 및 작은 드리프트의 특성을 가지고 있습니다. 그리고 강력하고 신뢰할 수있는 마이크로 프로세서 기반 릴레이 제어, 직렬 통신 출력, 진공 아날로그 출력 및 기타 기능. 거칠고 낮은 진공 측정 및 진공 제어에 특히 적합합니다.

2. 기술 매개 변수 :

* 배포 규정 : ZJ-52T 저항 게이지

* 측정 범위 : 10 5 ~ 10 -1 아빠

* 측정 수 : 편도

* 제어 채널 수 : 2 개 도로를 4 개 또는 8 개 도로로 확장 할 수 있습니다.

* 제어 범위 : 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 아빠

* 제어 모드 : 릴레이 접점 출력, 부하 용량 AC220V / 3A (또는 DC28V / 3A) 비유 도성 하중

* 전원 : 90-260V / 50Hz 또는 220V ± 10 % 50Hz

* 전력 소비 : 25W

* 무게 : 4Kg / 3Kg / 0.5Kg (에 따라 섀시)

* 섀시 크기 : 240 × 88 × 280 또는 265 × 119 × 280 또는 96 × 96 × 120

480 × 88 × 280 또는 480 × 119 × 280 (너비 × 높이 × 깊이)


3. 성능 특성 :

* LED 녹색 화면 디지털 디스플레이.

* 다양한 별 조사

* 빠른 응답 속도

* 마이크로 컴퓨터 보정은 비선형 성 측정 오류를 줄입니다.

* 광학 절연, 디지털 필터링, 향상된 간섭 방지 능력.

* pvc 컬러 패널, 아름다운 외관.

* 포인트 제어 또는 영역 릴레이 제어 출력, 설정 포인트는 power-down 보호 메모리 기능.

4. 채택 VRD16 진공 펌프

VRD16

기술 용어

사양

VRD-16

펌핑 speedm³ / h (L / s)

50Hz

16 m³ / h

4.4 L / s

60Hz

19.2 m³ / h

5.2 L / s

부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 (Pa)

4x10-2

총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 (Pa)

4x10-1

총 압력 제한 - 가스 밸러스트 (Pa)

8x10-1

전원 공급

단일 단계 / three 단계

모터 힘 (KW)

0.75 KW / 0.55 kw

입구 / 출구 connectionDN

KF25

오일 용량

0.9-1.5 엘

모터 속도 (rpm)

50Hz

1440 rpm




2 채널 질량 유량계 가스 공급 시스템

1. 개요

1) 가스는 실린더에서 나와 감압 밸브를 통해 감압되고 PTFE 가스 공급 시스템의 입구에 튜브를 연결 한 다음 질량 유량계를 통해 가스 흐름을 제어 한 다음 가스 혼합 탱크를 통과 한 다음 노 입구로 들어가 가스가 배출됩니다. 기관이 나오고 3 방향 밸브를 통과하고 한쪽 끝이 진공 펌프에 연결되고 한쪽 끝이 공기 배출구에 연결됩니다.

2) 압력 게이지는 가스 혼합 탱크에 연결되고 압력 게이지 디스플레이 디스크와 질량 유량계 동일한 패널에 설치됩니다.

3) 각 가스 라인에는 고압 차단 안전을위한 밸브.

4) 가스 경로는 고정밀 가스 플로트 유량계 및 가스 경로의 내부 부분은 PTFE 내식성이 좋은 튜브

5) 모든 조인트는 기밀성과 내압성이 우수한 페룰로 연결됩니다.


2. 기술 매개 변수 :

공기 채널 : 2

공압 흐름 제어 : 질량 유량 컨트롤러.

인터페이스 : Φ6

디스플레이 : 주도

작업 환경 온도 : 5 ~ 45 ° C

흐름 컨트롤러 : 질량 유량 컨트롤러 (자세한 기술 매개 변수는 아래 참조)

PTFE 튜브 : Φ6 외부 XΦ4

압력 진공 게이지 : -0.1 ~ 0.15 MPa, 0.01 MPa / division

글로브 밸브 : Φ6


3. 가스 공급 시스템의 내부 압력 너무 크지 않으면 가스가 정상적으로 유출 될 수있는 한 쉽게 공기 누출이 발생할 수 있습니다.


4. 가스 공급 장치 구성 시스템 :

1) 질량 유량계 : 2

2) 압력 게이지 : 1

3) 차단 밸브 : 삼

4) 보드를 통해 커넥터 : 삼

5) 밸브 커넥터 : 2

6) 실린더 조인트 : 2

7) 테플론 튜브 : 1,000 만

8) 통기 탱크 : 1

9) 용광로 랙 : 1 세트

질량 유량계 기술 매개 변수 : 질량 유량 컨트롤러 공통 유형, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 차단하기 쉽지 않음.

주요 표시기 :

범위 : 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (사용자 범위를 임의로 선택할 수 있음)

• 정확도 : ± 1.5 % F.S

• 선형 : ± 0.5 ~ 1.5 % F.S

• 반복성 : ± 0.2 % F.S

• 응답 시간 : 10 초

• 기압 드롭 : <0.01MPa

• 최대 압력 : 3MP

• 작업 환경 온도 : 5 ~ 45 ° C

• 입력 및 출력 신호 : 0 ~ + 5.00V

• 전원 : + 15V 50mA -15V 50mA

• 치수 : 158 * 30 * 110



CVD system

Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



내 보낸 표준 1 개 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장.

2 익스프레스, 항공, 해상 운송 customers ' 가장 적합한 방법을 찾기위한 요구 사항

3 피해에 대한 책임 중 배송 과정에서 손상 부분을 무료로 변경해드립니다.



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연구실 CVD 시스템 1500-1500C 이중 구역 회전 관로 CVD 시스템은 가스 공급 시스템으로 구성 + 튜브로 + 진공 시스템, 최대 온도는 1200 도, 1400 도, 1600 도 및 1700 도. 가열 영역은 단일 온도 영역, 이중 온도 영역, 3 개 온도 영역 등이 될 수 있습니다. 최종 진공은 10-3Pa에 도달 할 수 있습니다. 가스 공급 시스템은 질량 유량계 또는 플로트 유량계 흐름 규제. 믹싱 채널 수는 2 채널, 3 채널, 4 채널 및 5 채널이 될 수 있습니다. 자세한 기술 매개 변수 모델 1500-1500-I 1500-1500-II 힘 9KW 9KW 튜브 크기 직경 60 (OD) X1400 mm 직경 80 (OD) X1400 mm 전원 전압 380V 380V 단계 이중 위상 이중 위상 튜브커런덤 튜브 : 고순도 AIO 도자기 (포함) 99.5 % 발열체 첫 번째 온도 구역 : 실리콘 탄소 막대 두 번째 온도 구역 : 실리콘 탄소봉 로 튜브 회전 속도 함께 무단 가변 속도 모터, 속도는 (1-25 RPM) 사이에서 조정할 수 있습니다. 모터 파워 40W 퍼니스는 비스듬히 기울일 수 있습니다 0-30도 일종의 드라이브 톱니 벨트 및 기어 제어 모드 UAV 프로그램 온도 제어 기기 (표준) 1, 30 단 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 함께 과열 보호, 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. 온도가 과열 또는 파손, ( 전기로 온도가 1520 도를 초과하거나 열전대가 끊어지면 주 회로의 AC 릴레이가 자동으로 차단되고 주 회로가 파손됩니다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시 등 꺼짐, 꺼짐 표시 등 켜짐, 제한된 보호 전기로). 3, 485 통신 인터페이스 (표준 구매시 소프트웨어) 4, 전원 끄기 보호 기능, 즉, when 전원이 꺼진 후 전원이 켜지면 프로그램이 시작되지 않습니다. from 시작 온도, 그러나 퍼니스 온도 상승 from 정전시 5, 미터는 온도 자체 조정 (수입 된 악기를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다. 선택 사항) FP93 악기 EUROTHERM 악기 터치 스크린 악기(shimaden, 일본) 노 재료 1. 진공 여과에 의해 형성된 고품질 고순도 알루미나 다결정 섬유 경화로. 2. 성형에 일본 기술을 채택하십시오. 제어 정확도 + / - 1 ℃ 방아쇠 위상 편이 방아쇠 전기기구 절강 chint 실리콘 제어 106 / 16ESEMIKRON 첫 번째 및 두 번째 온도 영역의 최고 온도 1500 ℃ 첫 번째 및 두 번째 온도 영역의 정격 온도 1400 ℃ 가열 속도 ≤20 ℃ / Min ( 필수대로 수정 가능) 권장 온도 상승률 ≤10 ℃ / 분 열전대 s 타이핑 첫 번째 온도 영역 typein 두 번째 온도 영역 첫 번째 및 두 번째 온도 영역의 가열 섹션 길이 300 + 300mm 300 + 300mm 일정한 온도 길이 450mm 450mm Gx-3 3 채널 공기 공급 (혼합 공기) 체계 1.1. 가스는 실린더에서 나와 감압 밸브를 통해 감압되고 PTFE 튜브를 가스 공급 시스템의 입구에 연결 한 다음 질량 유량계를 통과하여 가스 흐름을 제어 한 다음 가스 혼합 탱크를 통과하여 노 입구로 들어갑니다. 1.2. 가스 혼합 탱크에 압력 게이지가 부착되고 압력 게이지 디스플레이 디스크와 양성자 유량계 컨트롤러는 동일한 패널에 설치됩니다. 1.3. 각 가스 라인에는 고압 차단 안전을위한 밸브. 1.4. 가스 경로는 고정밀도 가스 질량 유량계, 가스 경로 내부 전체가 스테인레스 스틸 파이프로 만들어져 내식성이 우수합니다. 1.5. 상자의 모든 조인트는 기밀성이 우수하고 내압이 높은 스테인리스 스틸 페룰로 연결됩니다. 2. 기술 매개 변수 : 공압 채널 : 삼가스 흐름 제어 : 질량 유량 미터. 캐비닛 치수 : 600X600X600mm 질량 유량계 기술 매개 변수 : 인터페이스 : Φ6 디스플레이 : 주도작업 환경 온도 : 5 ~ 45 ° C 흐름 컨트롤러 : 양성자 흐름 컨트롤러 매개 변수를 다시 확인하십시오.스테인레스 스틸 튜브 : Φ6 외부 x Φ4 압력 진공 테이블 : -0.1 ~ 0.15 MPa, 0.01 MPa / division 중지 밸브 : Φ6 흐름 제어 : PLC 지능형 제어 3. 질량 유량계 기술 매개 변수 : 제품 이름 : 질량 흐름 컨트롤러 제품 설명 : 일반형, 아날로그 회로제품 세부 사항 : 일반, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 차단하기 쉽지 않음. 주요 표시기 : 범위 : 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (사용자 범위를 임의로 선택할 수 있음) • 정확도 : ± 1 % F.S • 선형 : 0.5 % F.S • 반복성 : ± 0.2 % F.S • 응답 시간 : 1 초 • 기압 드롭 :

1600C CVD Furnace with Gas Supply System and Vacuum System -Tmax
1600C CVD 가스 공급 시스템 및 진공 시스템을 갖춘 퍼니스

1600C PECVD 가스 공급 시스템 및 진공 시스템을 갖춘 퍼니스 PECVD 시스템은 관로, 석영 진공 챔버, 진공 시스템, 가스 공급 시스템 및 무선 주파수 전원 공급 시스템으로 구성됩니다. 주로 사용되는 용도 : 금속 박막, 세라믹 박막, 복합 박막, 그래 핀 등의 성장으로 기능 추가가 용이하고 플라즈마 세정, 식각 등의 기능을 확장 할 수 있습니다. PECVD 시스템은 높은 성막 속도, 우수한 균일 성, 높은 일관성 및 안정성의 장점을 가지고 있습니다. 자세한 기술 매개 변수 모델 TL1600-I 힘 5KW 튜브 크기 (OD) (mm) 고순도 커런덤 튜브 : 60mm (튜브 직경) 두 개의 퍼니스 플러그가 각면에 배치됩니다. 퍼니스 플러그는 퍼니스 튜브 중앙의 열 복사를 차단할 수 있으며 가열하기 전에 퍼니스의 올바른 위치에 놓아야합니다. 치수 1120X490X855 전원 전압 220V 단계 단상 발열체 1800 모델 실리콘 몰리브덴 바 온도 제어 유형사용 Yudian 프로그램 온도 제어 기기 (표준) 1. 30- 세그먼트 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 함께 과열 보호, 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. 온도가 과열 또는 when 부부는 부러졌다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시 등 꺼짐, 꺼짐 표시 등 켜짐, 전기로 제한적으로 보호됨). 3. 함께 485 통신 인터페이스 (standard with optional software) 4. 정전 보호 기능이 있습니다. 즉, when 전원이 꺼진 후 퍼니스의 전원이 켜지면 프로그램이 시작되지 않습니다. from 초기 온도, 그러나 시작 from 노 온도 언제 전원이 꺼져 있습니다. 5. 미터에는 온도 자체 조정 기능이 있습니다. (수입 된 악기를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다. 선택 사항) FP93 악기 EUROTHERM 악기 터치 스크린 악기(shimaden, 일본) 챔버 재료 1. 난로 재료는 고품질 알루미나 다결정 섬유로 만들어집니다. 2. 내부로의 표면은 수입 1800 방사율을 높일 수있는 고온 알루미나 코팅 온도 장을보다 균형하게 만듭니다. 밸브 및 플랜지 제어 정밀도 + / - 1 ℃ 방아쇠 위상 편이 방아쇠 전기기구 절강 chint 실리콘 제어 106 / 16E 세 미크론 최대 임시 1600 ℃ 정격 온도 1550 ℃ 가열 속도 ≤20 ℃ / Min ( 필수대로 수정 가능) 권장 가열 속도 ≤10 ℃ / 분 열전대 모델 b 유형 가열 섹션의 길이 300mm 주변 표면 온도 ≤45 ℃ 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템은 튜브로 튜브의 진공도를 0.1Pa (및 저항 진공 게이지 장착 디스플레이 장착)로 그릴 수 있습니다. 함께 led 녹색 화면 디지털 디스플레이. 채택 VRD16 진공 펌프 VRD16 기술 용어 사양 VRD-16 펌핑 speedm³ / h (L / s) 50Hz 16 m³ / h 4.4 L / s 60Hz 19.2 m³ / h 5.2 L / s 부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 (Pa) 4x10-2 총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 (Pa) 4x10-1 총 압력 제한 - 가스 밸러스트 (Pa) 8x10-1 전원 공급 단일 단계 / three 단계모터 힘 (KW) 0.75 KW / 0.55 kw 입구 / 출구 connectionDN KF25 오일 용량 0.9-1.5 엘모터 속도 (rpm) 50Hz 1440 rpm 가스 공급 시스템 가스 유량계 가스 공급 시스템기술 매개 변수 : l 공압 채널 : 6l 공압 흐름 제어 : 질량 유량계를 사용하십시오. l 캐비닛 크기 : 600X600X600mm l 함께 LED 디스플레이l 질량 유량계의 기술적 인 매개 변수 : 상호 작용 Φ6 디스플레이 주도 작업 환경 온도 5 ~ 45 ℃ 흐름 컨트롤러 양성자 흐름 컨트롤러가 사용됩니다. 뒷면을 참조하십시오. 스테인레스 스틸 튜브 Φ6 외부 x Φ4 내부 압력 진공 테이블 -0.1 ~ 0.15 MPa, 0.01 MPa / div 스톱 밸브 Φ6 흐름 제어 PLC 지능형 제어질량 흐름의 기술적 매개 변수 컨트롤러 : 제품 설명 : 공통 유형, 아날로그 회로제품 상세 설명 : 일반형, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 차단하기 쉽지 않음. 주요 표시기 : 범위 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (선택 가능 범위) 언제 당신은 주문합니다 정확성 ± 1 % F.S 선의 0.5 % F.S 반복성 ± 0.2 % F.S 응답 시간 1 초 기압 강하

1600C CVD Furnace with Gas Supply System and Vacuum System -Tmax
1600C CVD 가스 공급 시스템 및 진공 시스템을 갖춘 퍼니스

1600C PECVD 가스 공급 시스템 및 진공 시스템을 갖춘 퍼니스 PECVD 시스템은 관로, 석영 진공 챔버, 진공 시스템, 가스 공급 시스템 및 무선 주파수 전원 공급 시스템으로 구성됩니다. 주로 사용되는 용도 : 금속 박막, 세라믹 박막, 복합 박막, 그래 핀 등의 성장으로 기능 추가가 용이하고 플라즈마 세정, 식각 등의 기능을 확장 할 수 있습니다. PECVD 시스템은 높은 성막 속도, 우수한 균일 성, 높은 일관성 및 안정성의 장점을 가지고 있습니다. 자세한 기술 매개 변수 모델 TL1600-I 힘 5KW 튜브 크기 (OD) (mm) 고순도 커런덤 튜브 : 60mm (튜브 직경) 두 개의 퍼니스 플러그가 각면에 배치됩니다. 퍼니스 플러그는 퍼니스 튜브 중앙의 열 복사를 차단할 수 있으며 가열하기 전에 퍼니스의 올바른 위치에 놓아야합니다. 치수 1120X490X855 전원 전압 220V 단계 단상 발열체 1800 모델 실리콘 몰리브덴 바 온도 제어 유형사용 Yudian 프로그램 온도 제어 기기 (표준) 1. 30- 세그먼트 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 함께 과열 보호, 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. 온도가 과열 또는 when 부부는 부러졌다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시 등 꺼짐, 꺼짐 표시 등 켜짐, 전기로 제한적으로 보호됨). 3. 함께 485 통신 인터페이스 (standard with optional software) 4. 정전 보호 기능이 있습니다. 즉, when 전원이 꺼진 후 퍼니스의 전원이 켜지면 프로그램이 시작되지 않습니다. from 초기 온도, 그러나 시작 from 노 온도 언제 전원이 꺼져 있습니다. 5. 미터에는 온도 자체 조정 기능이 있습니다. (수입 된 악기를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다. 선택 사항) FP93 악기 EUROTHERM 악기 터치 스크린 악기(shimaden, 일본) 챔버 재료 1. 난로 재료는 고품질 알루미나 다결정 섬유로 만들어집니다. 2. 내부로의 표면은 수입 1800 방사율을 높일 수있는 고온 알루미나 코팅 온도 장을보다 균형하게 만듭니다. 밸브 및 플랜지 제어 정밀도 + / - 1 ℃ 방아쇠 위상 편이 방아쇠 전기기구 절강 chint 실리콘 제어 106 / 16E 세 미크론 최대 임시 1600 ℃ 정격 온도 1550 ℃ 가열 속도 ≤20 ℃ / Min ( 필수대로 수정 가능) 권장 가열 속도 ≤10 ℃ / 분 열전대 모델 b 유형 가열 섹션의 길이 300mm 주변 표면 온도 ≤45 ℃ 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템은 튜브로 튜브의 진공도를 0.1Pa (및 저항 진공 게이지 장착 디스플레이 장착)로 그릴 수 있습니다. 함께 led 녹색 화면 디지털 디스플레이. 채택 VRD16 진공 펌프 VRD16 기술 용어 사양 VRD-16 펌핑 speedm³ / h (L / s) 50Hz 16 m³ / h 4.4 L / s 60Hz 19.2 m³ / h 5.2 L / s 부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 (Pa) 4x10-2 총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 (Pa) 4x10-1 총 압력 제한 - 가스 밸러스트 (Pa) 8x10-1 전원 공급 단일 단계 / three 단계모터 힘 (KW) 0.75 KW / 0.55 kw 입구 / 출구 connectionDN KF25 오일 용량 0.9-1.5 엘모터 속도 (rpm) 50Hz 1440 rpm 가스 공급 시스템 가스 유량계 가스 공급 시스템기술 매개 변수 : l 공압 채널 : 6l 공압 흐름 제어 : 질량 유량계를 사용하십시오. l 캐비닛 크기 : 600X600X600mm l 함께 LED 디스플레이l 질량 유량계의 기술적 인 매개 변수 : 상호 작용 Φ6 디스플레이 주도 작업 환경 온도 5 ~ 45 ℃ 흐름 컨트롤러 양성자 흐름 컨트롤러가 사용됩니다. 뒷면을 참조하십시오. 스테인레스 스틸 튜브 Φ6 외부 x Φ4 내부 압력 진공 테이블 -0.1 ~ 0.15 MPa, 0.01 MPa / div 스톱 밸브 Φ6 흐름 제어 PLC 지능형 제어질량 흐름의 기술적 매개 변수 컨트롤러 : 제품 설명 : 공통 유형, 아날로그 회로제품 상세 설명 : 일반형, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 차단하기 쉽지 않음. 주요 표시기 : 범위 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (선택 가능 범위) 언제 당신은 주문합니다 정확성 ± 1 % F.S 선의 0.5 % F.S 반복성 ± 0.2 % F.S 응답 시간 1 초 기압 강하

VS-0.1 Vacuum System with VRD16 Vacuum Pump for CVD System -Tmax
VS-0.1 VRD16 이있는 진공 시스템 CVD 용 진공 펌프체계

VRD16 이있는 진공 시스템 CVD 용 진공 펌프 체계 I. 개요시스템 (관로의 진공을 0.6Pa로 펌핑 할 수 있음) 흡입 플랜지로 구성 (자체 제작) KF25 인터페이스, 고진공 배플 방식, 저항 진공 게이지, 벨로우즈, 브래킷 (수제), 진공 펌프는 플랜지 출구에 티 파이프를 연결하고, 저항 실리콘을 3 방향 파이프의 한쪽 끝에 연결하고, 고진공 플래퍼 밸브를 다른 쪽 끝은 Dia25의 주름으로 플래퍼 밸브와 진공 펌프를 연결하고 KF25 연결 포트 용 퀵 클램프 . 2. 압력 감지 시스템 ZDR-I / ZDR-I-LED 유형 단일 저항 진공 게이지저항 진공 게이지 ( Pirani 진공 게이지) 특별히 안정화 된 ZJ-52T 저항 게이지를 사용하고 새로운 항온 작동 모드를 상수 전력에 적용합니다. 동시에 마이크로 프로세서를 사용하여 비선형 성 규정의. 선형 처리. 안정적인 성능, 넓은 측정 범위, 빠른 응답 및 작은 드리프트의 특성을 가지고 있습니다. 그리고 강력하고 신뢰할 수있는 마이크로 프로세서 기반 릴레이 제어, 직렬 통신 출력, 진공 아날로그 출력 및 기타 기능. 거칠고 낮은 진공 측정 및 진공 제어에 특히 적합합니다. 기술 매개 변수 : * 배포 규정 : ZJ-52T 저항 게이지 * 측정 범위 : 10 5 ~ 10 -1 아빠 * 측정 수 : 편도 * 제어 채널 수 : 2 개 도로를 4 개 또는 8 개 도로로 확장 할 수 있습니다. * 제어 범위 : 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 아빠 * 제어 모드 : 릴레이 접점 출력, 부하 용량 AC220V / 3A (또는 DC28V / 3A) 비유 도성 하중 * 전원 : 90-260V / 50Hz 또는 220V ± 10 % 50Hz * 전력 소비 : 25W * 무게 : 4Kg / 3Kg / 0.5Kg (에 따라 섀시) * 섀시 크기 : 240 × 88 × 280 또는 265 × 119 × 280 또는 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 또는 480 × 119 × 280 (너비 × 높이 × 깊이) 성능 특성 : * LED 녹색 화면 디지털 디스플레이. * 다양한 별 조사 * 빠른 응답 속도 * 마이크로 컴퓨터 보정은 비선형 성 측정 오류를 줄입니다. * 광학 절연, 디지털 필터링, 향상된 간섭 방지 능력. * pvc 컬러 패널, 아름다운 외관. * 포인트 제어 또는 영역 릴레이 제어 출력, 설정 포인트는 power-down 보호 메모리 기능. 3. 채택 VRD16 진공 펌프 VRD16 기술 용어 사양 VRD-16 펌핑 speedm³ / h (L / s) 50Hz 16 m³ / h 4.4 L / s 60Hz 19.2 m³ / h 5.2 L / s 부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 (Pa) 4x10-2 총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 (Pa) 4x10-1 총 압력 제한 - 가스 밸러스트 (Pa) 8x10-1 전원 공급 단일 단계 / three 단계모터 힘 (KW) 0.75 KW / 0.55 kw 입구 / 출구 connectionDN KF25 오일 용량 0.9-1.5 엘모터 속도 (rpm) 50Hz 1440 rpm내 보낸 표준 1 개 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장. 2 익스프레스, 항공, 해상 운송 customers ' 가장 적합한 방법을 찾기위한 요구 사항 3 피해에 대한 책임 중 배송 과정에서 손상 부분을 무료로 변경해드립니다.

RF Power Supply for PECVD -Tmax
PECVD 용 RF 전원 공급 장치

PECVD 용 RF 전원 공급 장치 PECVD 시스템은 관로, 석영 진공 챔버, 진공 시스템, 가스 공급 시스템 및 무선 주파수 전원 공급 시스템으로 구성됩니다. 주로 사용되는 용도 : 금속 박막, 세라믹 박막, 복합 박막, 그래 핀 등의 성장으로 기능 추가가 용이하고 플라즈마 세정, 식각 등의 기능을 확장 할 수 있습니다. PECVD 시스템은 높은 성막 속도, 우수한 균일 성, 높은 일관성 및 안정성의 장점을 가지고 있습니다. RF 전원의 주요 기술 매개 변수 공급 : 전력 출력 범위 0-500W 최대 반사 전력 200W 작동 주파수 RF : 13.56MHZ ± 0.005 % 전력 안정성 + / -0.1 % 고조파 성분 ≤-50dbc rf 영역 너비 0-600mm 조정 가능 일치하는 방법 자동적 인 냉각 모드 추위 소음

1200C CVD Furnace
Lab 1200C Single Temperature Zone Quartz Tube CVD Furnace with 440mm Heating Section

Sales Manager: Gia Email: Gia@tmaxlaboratory.com Wechat: Dingqiuna

Cold Isostatic Press
12T 작은 수동 감기 Isostatic 프레스 유압 CIP 누르는 기계

12T 작은 수동 감기 Isostatic 프레스 유압 CIP 누르는 기계 TMAX-C IP-12J CE 인증을 받았으며 가장 작은 추위 isostatic (CIP) 누르기 실험실 분말에 사용되는 기계 프레싱. 22mm isostatic 을 제공 할 수있는 초강력 스테인리스 스틸로 만든 id 유압 챔버 최대 압력 300 Mpa 경유 a 12T 수동 유압 프레스. 고밀도 를 준비하는 훌륭한 도구입니다. 복합 펠렛 및 작은 직경 로드. CIP-12J 설치 공간이 작고 장갑 상자 준비하기 공기에 민감한 재료. 플라스틱 보호 커버가 포함되어 있습니다. 주요 특징 a). 소형 크기, 가벼운 무게, 오일 없음, 휴대가 용이. b). 높음 속도 강철 수입 에서 일본 c). 디지털 디스플레이 압력 게이지 0.1MPa, 압력 제어가 더 정확합니다. d) .The 오일 풀은 호스트의 주 표면에있는 오일을 쉽게 교체 할 수 있으며 유압 오일 필터가 오일 경로에 추가됩니다. e). 특수 플런저, 특수 맞춤형 밀봉 구조, 우수한 밀봉 효과, 오일 누출 없음 f) .The 상부 플레이트는 전기 도금에 6 개의 앵글 나사를 채택했습니다. 아름답고 공간을 절약합니다. g). 하나 하나의 메인 플레이트 구조, 오일 풀, 메인 보드, 오일 실린더, 일체형, 씰 없음 연결. h). 연장 봄, 반동 효과가 좋고 변형하기 쉽지 않으며 오일 실린더를 실현할 수 있습니다 30mm 변형을 반환하지 않습니다. i) .The 알루미늄 합금 핸드 휠, 아름답고 실용적이며 내구성이 뛰어나고 손상되기 쉽지 않음 사양 12T 감기 등방성 누르는 기계 신청 실험실 CIP 누르기 유압 누르는 범위 0 ~ 12T (0-17MPa) 피스톤 직경 O.D95mm 구조 오일 탱크, 기계베이스 씰링 연결 없음, 오일 누출 지점 없음 압력계 디지털 압력 게이지 최대 피스톤 거리 40mm 환경 온도 10 ~ 40 정도 CIP 압력 범위 0 ~ 300MPa CIP 탱크 치수 O.D22 * 70mm 외부 치수 305 * 195 * 530mm 총 중량 92Kg 압력 변환 실제 압력 시스템 압력 탱크 내부 압력 1T 1.41MPa 25MPa 2T 2.82MPa 50MPa 3T 4.23MPa 75MPa 4T 5.64MPa 100MPa 5T 7.06MPa 125MPa 6T 8.46MPa 150MPa 8T 11.3MPa 200MPa 10T 14.1MPa 250MPa 12T 17MPa 300MPa 제품 이미지기계 부품 : 고무 몰드 , 재활용 사용 가능 메인 특징 : CIP 스테인리스 탱크기계 부품 : 밀봉 캡내 보낸 표준 1 개 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장. 2 익스프레스, 항공, 해상 운송 customers ' 가장 적합한 방법을 찾기위한 요구 사항 3 피해에 대한 책임 중 배송 과정에서 손상 부분을 무료로 변경해드립니다.

Dental furnace
소형 치과 왁스로 실험실 소결로 치과 소진 오븐

영업 관리자: 지아 이메일: Gia@tmaxlaboratory.com 위챗: 딩퀴나

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