1600C PECVD 가스 공급 시스템 및 진공 시스템을 갖춘 퍼니스 PECVD 시스템은 관로, 석영 진공 챔버, 진공 시스템, 가스 공급 시스템 및 무선 주파수 전원 공급 시스템으로 구성됩니다. 주로 사용되는 용도 : 금속 박막, 세라믹 박막, 복합 박막, 그래 핀 등의 성장으로 기능 추가가 용이하고 플라즈마 세정, 식각 등의 기능을 확장 할 수 있습니다. PECVD 시스템은 높은 성막 속도, 우수한 균일 성, 높은 일관성 및 안정성의 장점을 가지고 있습니다. 자세한 기술 매개 변수 모델 TL1600-I 힘 5KW 튜브 크기 (OD) (mm) 고순도 커런덤 튜브 : 60mm (튜브 직경) 두 개의 퍼니스 플러그가 각면에 배치됩니다. 퍼니스 플러그는 퍼니스 튜브 중앙의 열 복사를 차단할 수 있으며 가열하기 전에 퍼니스의 올바른 위치에 놓아야합니다. 치수 1120X490X855 전원 전압 220V 단계 단상 발열체 1800 모델 실리콘 몰리브덴 바 온도 제어 유형사용 Yudian 프로그램 온도 제어 기기 (표준) 1. 30- 세그먼트 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 함께 과열 보호, 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. 온도가 과열 또는 when 부부는 부러졌다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시 등 꺼짐, 꺼짐 표시 등 켜짐, 전기로 제한적으로 보호됨). 3. 함께 485 통신 인터페이스 (standard with optional software) 4. 정전 보호 기능이 있습니다. 즉, when 전원이 꺼진 후 퍼니스의 전원이 켜지면 프로그램이 시작되지 않습니다. from 초기 온도, 그러나 시작 from 노 온도 언제 전원이 꺼져 있습니다. 5. 미터에는 온도 자체 조정 기능이 있습니다. (수입 된 악기를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다. 선택 사항) FP93 악기 EUROTHERM 악기 터치 스크린 악기(shimaden, 일본) 챔버 재료 1. 난로 재료는 고품질 알루미나 다결정 섬유로 만들어집니다. 2. 내부로의 표면은 수입 1800 방사율을 높일 수있는 고온 알루미나 코팅 온도 장을보다 균형하게 만듭니다. 밸브 및 플랜지 제어 정밀도 + / - 1 ℃ 방아쇠 위상 편이 방아쇠 전기기구 절강 chint 실리콘 제어 106 / 16E 세 미크론 최대 임시 1600 ℃ 정격 온도 1550 ℃ 가열 속도 ≤20 ℃ / Min ( 필수대로 수정 가능) 권장 가열 속도 ≤10 ℃ / 분 열전대 모델 b 유형 가열 섹션의 길이 300mm 주변 표면 온도 ≤45 ℃ 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템은 튜브로 튜브의 진공도를 0.1Pa (및 저항 진공 게이지 장착 디스플레이 장착)로 그릴 수 있습니다. 함께 led 녹색 화면 디지털 디스플레이. 채택 VRD16 진공 펌프 VRD16 기술 용어 사양 VRD-16 펌핑 speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4.4 L / s 60Hz 19.2 m³ / h 5.2 L / s 부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-2 총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-1 총 압력 제한 - 가스 밸러스트 （Pa） 8x10-1 전원 공급 단일 단계 / three 단계모터 힘 (KW) 0.75 KW / 0.55 kw 입구 / 출구 connectionDN KF25 오일 용량 0.9-1.5 엘모터 속도 (rpm) 50Hz 1440 rpm 가스 공급 시스템 가스 유량계 가스 공급 시스템기술 매개 변수 : l 공압 채널 : 6l 공압 흐름 제어 : 질량 유량계를 사용하십시오. l 캐비닛 크기 : 600X600X600mm l 함께 LED 디스플레이l 질량 유량계의 기술적 인 매개 변수 : 상호 작용 Φ6 디스플레이 주도 작업 환경 온도 5 ~ 45 ℃ 흐름 컨트롤러 양성자 흐름 컨트롤러가 사용됩니다. 뒷면을 참조하십시오. 스테인레스 스틸 튜브 Φ6 외부 x Φ4 내부 압력 진공 테이블 -0.1 ~ 0.15 MPa, 0.01 MPa / div 스톱 밸브 Φ6 흐름 제어 PLC 지능형 제어질량 흐름의 기술적 매개 변수 컨트롤러 : 제품 설명 : 공통 유형, 아날로그 회로제품 상세 설명 : 일반형, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 차단하기 쉽지 않음. 주요 표시기 : 범위 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (선택 가능 범위) 언제 당신은 주문합니다 정확성 ± 1 % F.S 선의 0.5 % F.S 반복성 ± 0.2 % F.S 응답 시간 1 초 기압 강하

1600C PECVD 가스 공급 시스템 및 진공 시스템을 갖춘 퍼니스 PECVD 시스템은 관로, 석영 진공 챔버, 진공 시스템, 가스 공급 시스템 및 무선 주파수 전원 공급 시스템으로 구성됩니다. 주로 사용되는 용도 : 금속 박막, 세라믹 박막, 복합 박막, 그래 핀 등의 성장으로 기능 추가가 용이하고 플라즈마 세정, 식각 등의 기능을 확장 할 수 있습니다. PECVD 시스템은 높은 성막 속도, 우수한 균일 성, 높은 일관성 및 안정성의 장점을 가지고 있습니다. 자세한 기술 매개 변수 모델 TL1600-I 힘 5KW 튜브 크기 (OD) (mm) 고순도 커런덤 튜브 : 60mm (튜브 직경) 두 개의 퍼니스 플러그가 각면에 배치됩니다. 퍼니스 플러그는 퍼니스 튜브 중앙의 열 복사를 차단할 수 있으며 가열하기 전에 퍼니스의 올바른 위치에 놓아야합니다. 치수 1120X490X855 전원 전압 220V 단계 단상 발열체 1800 모델 실리콘 몰리브덴 바 온도 제어 유형사용 Yudian 프로그램 온도 제어 기기 (표준) 1. 30- 세그먼트 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 함께 과열 보호, 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. 온도가 과열 또는 when 부부는 부러졌다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시 등 꺼짐, 꺼짐 표시 등 켜짐, 전기로 제한적으로 보호됨). 3. 함께 485 통신 인터페이스 (standard with optional software) 4. 정전 보호 기능이 있습니다. 즉, when 전원이 꺼진 후 퍼니스의 전원이 켜지면 프로그램이 시작되지 않습니다. from 초기 온도, 그러나 시작 from 노 온도 언제 전원이 꺼져 있습니다. 5. 미터에는 온도 자체 조정 기능이 있습니다. (수입 된 악기를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다. 선택 사항) FP93 악기 EUROTHERM 악기 터치 스크린 악기(shimaden, 일본) 챔버 재료 1. 난로 재료는 고품질 알루미나 다결정 섬유로 만들어집니다. 2. 내부로의 표면은 수입 1800 방사율을 높일 수있는 고온 알루미나 코팅 온도 장을보다 균형하게 만듭니다. 밸브 및 플랜지 제어 정밀도 + / - 1 ℃ 방아쇠 위상 편이 방아쇠 전기기구 절강 chint 실리콘 제어 106 / 16E 세 미크론 최대 임시 1600 ℃ 정격 온도 1550 ℃ 가열 속도 ≤20 ℃ / Min ( 필수대로 수정 가능) 권장 가열 속도 ≤10 ℃ / 분 열전대 모델 b 유형 가열 섹션의 길이 300mm 주변 표면 온도 ≤45 ℃ 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템은 튜브로 튜브의 진공도를 0.1Pa (및 저항 진공 게이지 장착 디스플레이 장착)로 그릴 수 있습니다. 함께 led 녹색 화면 디지털 디스플레이. 채택 VRD16 진공 펌프 VRD16 기술 용어 사양 VRD-16 펌핑 speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4.4 L / s 60Hz 19.2 m³ / h 5.2 L / s 부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-2 총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-1 총 압력 제한 - 가스 밸러스트 （Pa） 8x10-1 전원 공급 단일 단계 / three 단계모터 힘 (KW) 0.75 KW / 0.55 kw 입구 / 출구 connectionDN KF25 오일 용량 0.9-1.5 엘모터 속도 (rpm) 50Hz 1440 rpm 가스 공급 시스템 가스 유량계 가스 공급 시스템기술 매개 변수 : l 공압 채널 : 6l 공압 흐름 제어 : 질량 유량계를 사용하십시오. l 캐비닛 크기 : 600X600X600mm l 함께 LED 디스플레이l 질량 유량계의 기술적 인 매개 변수 : 상호 작용 Φ6 디스플레이 주도 작업 환경 온도 5 ~ 45 ℃ 흐름 컨트롤러 양성자 흐름 컨트롤러가 사용됩니다. 뒷면을 참조하십시오. 스테인레스 스틸 튜브 Φ6 외부 x Φ4 내부 압력 진공 테이블 -0.1 ~ 0.15 MPa, 0.01 MPa / div 스톱 밸브 Φ6 흐름 제어 PLC 지능형 제어질량 흐름의 기술적 매개 변수 컨트롤러 : 제품 설명 : 공통 유형, 아날로그 회로제품 상세 설명 : 일반형, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 차단하기 쉽지 않음. 주요 표시기 : 범위 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (선택 가능 범위) 언제 당신은 주문합니다 정확성 ± 1 % F.S 선의 0.5 % F.S 반복성 ± 0.2 % F.S 응답 시간 1 초 기압 강하