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연구실 CVD 시스템 1500-1500C 이중 구역 회전 관로 CVD 시스템은 가스 공급 시스템으로 구성 + 튜브로 + 진공 시스템, 최대 온도는 1200 도, 1400 도, 1600 도 및 1700 도. 가열 영역은 단일 온도 영역, 이중 온도 영역, 3 개 온도 영역 등이 될 수 있습니다. 최종 진공은 10-3Pa에 도달 할 수 있습니다. 가스 공급 시스템은 질량 유량계 또는 플로트 유량계 흐름 규제. 믹싱 채널 수는 2 채널, 3 채널, 4 채널 및 5 채널이 될 수 있습니다. 자세한 기술 매개 변수 모델 1500-1500-I 1500-1500-II 힘 9KW 9KW 튜브 크기 직경 60 (OD) X1400 mm 직경 80 (OD) X1400 mm 전원 전압 380V 380V 단계 이중 위상 이중 위상 튜브커런덤 튜브 : 고순도 AIO 도자기 (포함) 99.5 % 발열체 첫 번째 온도 구역 : 실리콘 탄소 막대 두 번째 온도 구역 : 실리콘 탄소봉 로 튜브 회전 속도 함께 무단 가변 속도 모터, 속도는 (1-25 RPM) 사이에서 조정할 수 있습니다. 모터 파워 40W 퍼니스는 비스듬히 기울일 수 있습니다 0-30도 일종의 드라이브 톱니 벨트 및 기어 제어 모드 UAV 프로그램 온도 제어 기기 (표준) 1, 30 단 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 함께 과열 보호, 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. 온도가 과열 또는 파손, ( 전기로 온도가 1520 도를 초과하거나 열전대가 끊어지면 주 회로의 AC 릴레이가 자동으로 차단되고 주 회로가 파손됩니다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시 등 꺼짐, 꺼짐 표시 등 켜짐, 제한된 보호 전기로). 3, 485 통신 인터페이스 (표준 구매시 소프트웨어) 4, 전원 끄기 보호 기능, 즉, when 전원이 꺼진 후 전원이 켜지면 프로그램이 시작되지 않습니다. from 시작 온도, 그러나 퍼니스 온도 상승 from 정전시 5, 미터는 온도 자체 조정 (수입 된 악기를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다. 선택 사항) FP93 악기 EUROTHERM 악기 터치 스크린 악기(shimaden, 일본) 노 재료 1. 진공 여과에 의해 형성된 고품질 고순도 알루미나 다결정 섬유 경화로. 2. 성형에 일본 기술을 채택하십시오. 제어 정확도 + / - 1 ℃ 방아쇠 위상 편이 방아쇠 전기기구 절강 chint 실리콘 제어 106 / 16ESEMIKRON 첫 번째 및 두 번째 온도 영역의 최고 온도 1500 ℃ 첫 번째 및 두 번째 온도 영역의 정격 온도 1400 ℃ 가열 속도 ≤20 ℃ / Min ( 필수대로 수정 가능) 권장 온도 상승률 ≤10 ℃ / 분 열전대 s 타이핑 첫 번째 온도 영역 typein 두 번째 온도 영역 첫 번째 및 두 번째 온도 영역의 가열 섹션 길이 300 + 300mm 300 + 300mm 일정한 온도 길이 450mm 450mm Gx-3 3 채널 공기 공급 (혼합 공기) 체계 1.1. 가스는 실린더에서 나와 감압 밸브를 통해 감압되고 PTFE 튜브를 가스 공급 시스템의 입구에 연결 한 다음 질량 유량계를 통과하여 가스 흐름을 제어 한 다음 가스 혼합 탱크를 통과하여 노 입구로 들어갑니다. 1.2. 가스 혼합 탱크에 압력 게이지가 부착되고 압력 게이지 디스플레이 디스크와 양성자 유량계 컨트롤러는 동일한 패널에 설치됩니다. 1.3. 각 가스 라인에는 고압 차단 안전을위한 밸브. 1.4. 가스 경로는 고정밀도 가스 질량 유량계, 가스 경로 내부 전체가 스테인레스 스틸 파이프로 만들어져 내식성이 우수합니다. 1.5. 상자의 모든 조인트는 기밀성이 우수하고 내압이 높은 스테인리스 스틸 페룰로 연결됩니다. 2. 기술 매개 변수 : 공압 채널 : 삼가스 흐름 제어 : 질량 유량 미터. 캐비닛 치수 : 600X600X600mm 질량 유량계 기술 매개 변수 : 인터페이스 : Φ6 디스플레이 : 주도작업 환경 온도 : 5 ~ 45 ° C 흐름 컨트롤러 : 양성자 흐름 컨트롤러 매개 변수를 다시 확인하십시오.스테인레스 스틸 튜브 : Φ6 외부 x Φ4 압력 진공 테이블 : -0.1 ~ 0.15 MPa, 0.01 MPa / division 중지 밸브 : Φ6 흐름 제어 : PLC 지능형 제어 3. 질량 유량계 기술 매개 변수 : 제품 이름 : 질량 흐름 컨트롤러 제품 설명 : 일반형, 아날로그 회로제품 세부 사항 : 일반, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 차단하기 쉽지 않음. 주요 표시기 : 범위 : 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (사용자 범위를 임의로 선택할 수 있음) • 정확도 : ± 1 % F.S • 선형 : 0.5 % F.S • 반복성 : ± 0.2 % F.S • 응답 시간 : 1 초 • 기압 드롭 :