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필름 코팅기

스퍼터링 코팅기

진공 펌프가 장착된 고진공 마그네트론 듀얼 헤드 스퍼터링 코터

진공 펌프가 장착된 고진공 마그네트론 듀얼 헤드 스퍼터링 코터

Sales Manager: Gia

Email: Gia@tmaxlaboratory.com

Wechat: Dingqiuna


  • 품목 번호:

    TMAX-650MHT
  • 지불:

    L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
  • 선적항:

    Xiamen Port
  • 리드타임:

    5 Days
  • 자격증 :

    CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate
  • 보증 :

    Two years limited warranty with lifetime technical support
제품 세부정보

진공 펌프가 장착된 고진공 마그네트론 듀얼 헤드 스퍼터링 코터



기술사양

진공펌프 세트

(오일 필요) 로터리 진공 펌프 + (오일 프리) 터보 분자 펌프 세트

로터리 펌핑 속도

50Hz : 16m3/h(4.4L/s) / 60Hz : 19.2m/h(5.2L/s)

분자 펌핑 속도

300L/초

진공한계

5×10-5Pa

사용압력

0.5~5Pa

청소시간

10분(10-3Pa)

진공측정

측정 범위는 대기에서 10-6Pa까지입니다.

가스제어

가스유량조절기

챔버 크기

Ï260*200mm(높이) 금속

마그네트론 타겟 소스

대상 크기Ï50*3mm(Cu) / 대상 소스: 약한 자성 물질/재료

작동방법

사용설명서

무게/크기

100kg / 길이 610mm*폭 420mm*높이 490mm

전원공급장치

AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz

소비전력

<3000W

냉각방식

공냉식(펌프) + 수냉식(스퍼터링타겟)

보증

평생 제품 지원이 포함된 1년 제한 보증





Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



1 표준 수출 패키지: 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장.

2 가장 적합한 방법을 찾기 위해 고객의 요구 사항에 따라 급행, 항공, 해상 운송.

3 배송 과정 중 손상에 대한 책임은 무료로 손상된 부분을 변경해 드립니다.



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