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스퍼터링 코팅기

저진공

마그네트론 스퍼터링

900M(단일타겟)

플라즈마 스퍼터링

900 ~ 800(단일 대상); SD-2000III(3타겟)

열증발

800C, 980(카본로프, 타겟헤드 없음)

마그네트론 스퍼터링 + 열증착

900C(단일 타겟), 다른 경우는 카본로프

고진공

마그네트론 스퍼터링

SD-650MH(DC+ DC, DC + RF, RF+ RF)

열증발

SD-100AF(열증발탄소봉, 몰리브덴보트, 텅스텐와이어바)

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