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| 스퍼터링 코팅기 | ||
| 저진공 | 마그네트론 스퍼터링 | 900M(단일타겟) | 
| 플라즈마 스퍼터링 | 900 ~ 800(단일 대상); SD-2000III(3타겟) | |
| 열증발 | 800C, 980(카본로프, 타겟헤드 없음) | |
| 마그네트론 스퍼터링 + 열증착 | 900C(단일 타겟), 다른 경우는 카본로프 | |
| 고진공 | 마그네트론 스퍼터링 | SD-650MH(DC+ DC, DC + RF, RF+ RF) | 
| 열증발 | SD-100AF(열증발탄소봉, 몰리브덴보트, 텅스텐와이어바) | |
 
                                     
                                     
                                     
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