장비명 및 모델명

플라즈마 마그네트론 코팅기 VTC-2RF

기본 p매개변수

· 전원 공급 장치: AC 220V 50HZ

· 전력: < 1800W

RFp전력공급

· 입력 전원: 220V 3A

· 출력 전력: 0-300W

· 출력 주파수: 13.56MHZ

· 냉각모드 : 장비 내부의 냉각모드는 공냉식입니다.

· 사이즈 : 444(L) *410(W) *128(H)

마그네트론 스퍼터 헤드

· 2인치 마그네트론 스퍼터링 헤드(수냉식 중간층 포함), 퀵 스플라이스로 진공 챔버에 연결됨

· 대상 크기 요구 사항: 두께 Ï50*(0.1-5)mm

· 2인치 마그네트론 스퍼터링 헤드는 최대 RF 전력인 300W를 견딜 수 있습니다.

· 2인치 마그네트론 스퍼터링 헤드는 최대 DC 전력인 500W를 견딜 수 있습니다.

스퍼터c햄버

· 챔버 크기: 외경 Ï166* 내경 Ï150* 높이 250mm, 고순도 석영으로 제작

· 밀봉 플랜지: 직경 174mmï¼금속 알루미늄으로 제작, 불소 고무 밀봉 링으로 밀봉

· 타겟의 프리 스퍼터링을 위해 플랜지 커버에 수동으로 작동되는 배플이 설치되어 있으며, 에는 Ï6.35 슬리브 조인트가 포함되어 있습니다.e 흡입관 연결용 플랜지 커버

스테인레스 스틸 메쉬가 석영 챔버 전체를 덮어 플라즈마를 차폐합니다

· 챔버 진공: ï¼1.0Ã10-2 Torr(양극 회전 날개 진공 펌프 포함), ï¼5Ã10-5 토르 (vortex 분자pump)

· 더 높은 진공이 필요한 경우 스테인리스 스틸 진공 챔버를 맞춤 설정할 수 있습니다(진공도는 5*10-6torr 이하에 도달할 수 있음)

· 캐비티 공기 흡입구는 ø6.35mm 스테인레스 스틸 이중 슬리브 조인트로 PTFE 파이프를 통해 가스 실린더와 연결될 수 있으며 공기 흡입구의 크기는 정밀한 미세 조절 밸브로 제어됩니다.

샘플 스탠드

· 샘플 테이블을 회전시킬 수 있고(보다 균일한 필름 생산을 위해) 가열할 수 있습니다

· 샘플 크기: 직경 50mm(최대 2인치의 기판 배치 가능)

· 회전 속도: 1-10rpm(조정 가능)

· 시료 테이블의 최대 가열 온도는 700…(단기 사용, 항온은 1시간을 초과하지 않음), 장기 사용 온도는 500…

· 온도 조절 정확도: ±10…

진공표시장치

· 진공 게이지 모델: ZDZ-52T

· 측정 범위: 1.0ø105Pa~1.0ø10-1Pa

· 유효 범위: 3.0ø103Pa~1.0ø100Pa

· 실리콘 튜브: ZJ-52T/KF16

· 패널 크기: 96*96 mm

· 진공게이지의 조절은 공기와 질소만 측정할 수 있으며, 기타 가스 성분의 비율이 높은 경우에는 수정이 필요합니다.

진공시스템(옵션)

· 진공 인터페이스는 KF25 인터페이스

· 진공펌프 모델 : VRD-16

· 펌핑 속도: 4.4L /S

· 모터 출력: 750W

· 제한 압력: 5Ã10-1Pa(무부하)

수냉식 장비(옵션)

· 모델명 : KJ-5000

· 작동 전류: 1.4-2.1A

· 냉각 용량: 2361Btu/h

· 사이즈 : 55Ã28Ã43cm (길이 Ã 너비 Ã 높이)

· 물탱크 용량 : 6L

· 물 유량: 16L/min

필름t두께g수치(선택 사항)

· 정밀 석영 진동 막 두께 측정기가 장비에 설치되어 0.10A의 분해능으로 막 두께를 실시간으로 모니터링합니다.

· LED 디스플레이, 영화 관련 데이터 입력

전체치수

장비 크기: L 550mm à W 550m à H 1100mm

난로 크기: L 600mmà W 600mà H 600mm

무게

약 55KG

유통기한

1년(실링링 등 마모부품 제외)

주의사항

· 챔버 내의 공기압력은 0.02MPa(상대기압) 이하이어야 한다.

· 실린더 내부의 압력이 높기 때문에 석영관에 가스를 주입할 때 실린더에 감압 밸브를 설치해야 합니다. 안전을 위해 0.02MPa 이하의 압력을 사용하는 것을 권장합니다. 당사에서 측정범위가 0.01MPa~0.1MPa인 감압밸브를 구입하시는 것이 보다 정확하고 안전하게 사용하실 수 있습니다.

· 샘플 가열 실험의 경우, 퍼니스 튜브의 플랜지 끝 부분에 있는 배기 밸브와 흡기 밸브를 닫는 것은 권장되지 않습니다. 시료를 가열하기 위해 공기 밸브를 닫아야 하는 경우 압력계의 표시기에 항상 주의를 기울여야 합니다. 압력지시가 0.02MPa를 초과하는 경우 즉시 에어 릴리프 밸브를 열어 사고(로관 파열, 플랜지 튀어나옴 등)를 예방해야 한다.

· 가연성, 폭발성, 유독성 가스의 사용을 고객에게 권장하지 않습니다. 기술적인 이유로 인화성, 폭발성, 유독성 가스를 사용해야 하는 경우에는 고객 스스로 관련 보호 및 방폭 조치를 취하시기 바랍니다. 인화성, 폭발성, 유독성 가스의 사용으로 인해 발생하는 문제에 대하여 회사는 책임을 지지 않습니다.