페로브스카이트 태양전지를 만드는 데 사용되는 DC 또는 RF 고진공 마그네트론 이온 스퍼터 코팅 코팅기

Sales Manager: Gia
Email: Gia@tmaxlaboratory.com
Wechat: Dingqiuna

품목 번호:
TMAX-650MH
자격증 :
CE Certified
보증 :
1 Year limited warranty with lifetime support

문의하기

제품 세부정보

페로브스카이트 태양전지 제조에 사용되는 DC 또는 RF 고진공 마그네트론 이온 스퍼터 코팅 코팅기

소개

고진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코팅기는 재료 과학 및 샘플 준비에 이상적이며 설계되었습니다. 이는 금속, 세라믹, 반도체, 절연체 또는 기타 종류의 막 재료 준비를 위해 코팅하기 위해 대부분의 대학 및 재료 과학 및 공학 과학 연구 기관에서 널리 사용됩니다.

고진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코팅기는 가장 안정적인 스퍼터링 환경을 제공하며 매우 짧은 시간 내에 마그네트론 스퍼터링의 기본 실험 조건을 달성합니다. 전도성 또는 비전도성 물질을 시편에 스퍼터링하고 PVD(물리적 기상 증착) 성능을 향상시키는 DC/RF 두 가지 스퍼터링 전력 옵션을 제공합니다. 표면처리 및 코팅에도 탁월합니다. 조작이 간편하고 사용자 친화적입니다.

진공펌프와 냉각기가 포함되어 있습니다.

파라미터

진공pumpset	(O필요함) r로터리 vacuum pump+(o무료) turbo moleculan pump set
로타리p펌프속도	50Hz: 16 m²/h(4.4L/s)/ 60Hz: 19.2m²/h(5.2L/s)
분자 p펌프속도	300L/초
진공l제한	5x10-5Pa
근무 p압박	0.5-5Pa
나청소나	10분(10-3Pa)
진공 m확실성	측정 범위는 대기부터 1*10Pa까지입니다.
가스c제어	가스f낮음c제어기
챔버 크기	Ï260*200mm(높이) m금속
마그네트론 t대상 소스	대상 크기 Ï 50*3mm(Cu)/t대상 소스: weak m자성 s물질 /m재료
작동m방법	사용설명서l
무게/크기크기	100kg/길이 610mm x 너비 420mm x 높이 490mm
전원 공급	AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz
전력c소모	<3000W
냉각 m방법	에어 c쿨링(pump)+ w터c쿨링(s퍼터링 t대상)
보증	평생 제품 지원이 포함된 1년 제한 보증t