8~12인치 기판과 진공 펌프를 갖춘 실험실 진공 스핀 코터

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제품 세부정보

8~12인치 기판과 진공 펌프를 갖춘 실험실용 진공 스핀 코터

Spin Coater

주요 기능ï¼

1. 12인치 실리콘 웨이퍼 스핀코팅 지원

2. 최대 속도는 6000rpm에 도달할 수 있습니다.

3. 가속도 10-1000RPM/S 연속 조정 가능

4. 블루투스 통신으로

5. 표준 485modbus 통신 지원

6. 무료 PC 제어 소프트웨어.

스핀코터 사양 ï¼KW-4Q 스핀코터ï¼

기판 크기	200~300mm(8인치~12인치)
속도 범위	10-6000RPM
가속 범위	10-1000RPM/속도 조절 가능
모터 속도 안정성	±1RPM
스핀 코팅 균일성	±1%
휴먼머신 인터페이스	8인치 터치스크린
통신 인터페이스	USB(표준)/RS485(옵션)/블루투스(표준)
뒤로	정방향 및 역방향 지원
스타일러스	스타일러스 BAMBOO 저항펜(표준)
진공펌프	SC-550V
데이터 설정	데이터의 무제한 그룹, 각 그룹의 속도는 15 (표준) 또는 무제한 속도(선택 사항)입니다.
기간당 초	0-10000초
저장 데이터	데이터 무제한
정보보호	전원 차단 보호 기능이 있는 기본값
작동전압(스핀코터)	AC100-250V, 단상, 50/60Hz
작동전압(펌프)	AC220V(표준) AC110V(선택)
펌프 속도	∼60L/분
최대진공	-85KPA
소음레벨	…55db
스핀코터 파워	2KW
펌프 동력	350W
치수(스핀코터)	550mm(W)X550mm(D)X350mm(H)
중량(스핀코터)	50KG
무게(펌프)	9KG
상대습도	< 85%
주위온도	0~40…
보증	1년