어울리다 TMAX, 대리인이되다!
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TMAX-MD-SPV50지불:
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5 Days자격증 :
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Two years limited warranty with lifetime technical supportPCB 및 Microelectronics를 위한 진공 플라스마 청소 기계 플라스마 세탁기술자 청소 장비
제품 설명
( 1.1) 플라즈마 세정의 역할
플라즈마 세정의 원리는 주로:
(A) Etching on the surface of materials - physical effects
다량의 이온, 여기된 분자 및 자유 라디칼과 같은 플라즈마 내의 다수의 활성 입자가 고체 시료의 표면에 작용하여 원래의 오염물 및 불순물을 제거할 뿐만 아니라 에칭 효과를 생성합니다. 샘플의 표면을 거칠게 합니다. 많은 미세 피트가 형성되어 샘플의 표면 비율이 증가합니다. 단단한 표면의 습윤성을 향상시킵니다.
(B) 활성화 결합 에너지, 가교
플라즈마에 있는 입자의 에너지는 0-20eV이고 폴리머의 결합은 대부분 0-10eV입니다.
고체 표면을 사용하면 고체 표면의 원래 화학 결합이 깨질 수 있으며 플라즈마의 자유 라디칼과 이러한 결합이
가교 구조 네트워크의 형성은 표면 활성을 크게 활성화시킵니다.
(C) 새로운 작용기 형성 - 화학
방전가스에 반응가스가 유입되면 활성물질의 표면에서 복잡한 화학반응이 일어나며 탄화수소기, 아미노기, 카르복실기 등의 새로운 관능기가 도입되며, 이들 작용기는 모두 활성기이므로 재료의 표면 활성을 크게 향상시킬 수 있습니다.
( 1.2) 진공 플라즈마 세척의 장점
플라즈마 세정은 중요한 물질 표면 개질 방법으로 많은 분야에서 널리 사용되어 왔다.
그리고 초음파 세척, UV 세척 등과 같은 일부 전통적인 세척 방법에는 다음과 같은 장점이 있습니다.:
(A) Low processing temperature
처리 온도는 80도만큼 낮을 수 있습니다.°C-50° C. 낮은 처리 온도는 샘플 표면에 열적 영향을 주지 않습니다.
(B) 전체 과정에서 오염 없음
플라즈마 청소기 자체는 오염을 일으키지 않는 매우 친환경적인 장치입니다., 처리 과정에서 어떠한 오염도 일으키지 않습니다.
(씨) 안정적인 처리 효과
플라즈마 세정의 처리 효과는 매우 균일하고 안정적이며, 장기간 샘플을 유지하는 효과가 좋습니다.
(D) 다양한 모양의 샘플 처리 가능
복잡한 모양의 샘플의 경우 플라즈마 세척으로 올바른 솔루션을 찾을 수 있습니다.
진공 플라즈마 세척을 통해 고체 샘플의 내부 위치를 세척할 수 있습니다.
( 1.2) 제품 원리
플라즈마 청소기의 구조는 크게 제어 시스템, 여자 전원 시스템, 진공 챔버, 공정 가스 시스템 및 진공 펌프 시스템의 5가지 주요 구성 요소로 구분됩니다.
(A) 통제 시스템
제어 시스템의 기능은 인간-기계 인터페이스(터치 스크린), PLC, 전기 회로를 포함한 전체 장치의 작동을 제어하는 것입니다. 완전 자동 제어 시스템을 사용한 진공 플라즈마 세척은 다양한 고객의 요구를 충족하도록 세척 장비를 제어하는 여러 모드와 여러 프로그램을 가능하게 합니다.
(B) 여자 전원 시스템:
여기 전원에는 40KHz 중간 주파수 여기 전원 공급 장치, 13.56MHz RF 여기 전원 공급 장치 및 2.45GHz 마이크로파 여자 전원 공급 장치의 세 가지 주요 유형이 있습니다. 현재 업계는 주로 RF 여기 전원 공급 장치와 중간 주파수 여기 전원 공급 장치를 사용합니다. 다양한 응용 분야에 사용됩니다.
(C) 진공 챔버:
진공 챔버는 주로 1) 알루미늄 합금 캐비티, 2) 스테인레스 스틸 진공 챔버, 3) 석영 캐비티의 세 가지 재료로 나뉩니다. 사용자의 다양한 요구에 따라 다양한 방전 모드와 다양한 샘플 크기 및 용량을 얻을 수 있습니다.
(D) 공정 가스 시스템:
공정 가스에는 유량계, 공압 밸브 등이 포함됩니다. 사용자는 다양한 공정 요구 사항을 충족하기 위해 여러 공정 가스 솔루션, 아르곤, 산소, 수소, 질소, 사불화탄소 등을 유연하게 선택할 수 있습니다. 다양한 제품의 표면을 청소하십시오.
(E) 진공 펌프:
진공 펌프는 오일 펌프, 건식 펌프 및 루츠 펌프로 구분됩니다. 오일 펌프는 주로 2단 회전 날개 펌프를 채택하고 진공 펌프는 사용자의 부피, 작업 효율성 및 환경 요구 사항에 따라 공식화됩니다.
(2) 기술 사양
전력 시스템 | 맞춤형 RF 전원 공급 장치: 13.56MHz 0-600W(조정 가능) |
완전 자동 진공 커패시터 정합기 | |
진공 시스템 | 맞춤형 2단 로터리 베인 펌프(오일 펌프): 40m3/h |
진공 게이지: Japan Inficon Pirani 진공 게이지 | |
진공 라인: 모든 스테인리스 스틸 라인 고강도 진공 벨로우즈 | |
캐비티 시스템 (맞춤형) | 알루미늄 합금 소재, 군용 용접 25mm 두께 |
캐비티 내부 치수: 375*375*425mm(W*H*D) | |
전극판 레이아웃: 수평 배열, 추출 가능 | |
작업 트레이 | |
공간 레이어 번호:6 레이어 | |
가스 시스템 | 공압 밸브: 일본 SMC |
유량계: 중국 SevenStar: 0-300SCCM | |
두 가지 공정 가스: 아르곤, 산소 (아르곤, 산소, 질소, 수소, 4불화질소는 선택사항입니다.) | |
제어 시스템 | PLC: 독일 SIEMENS S 시리즈 |
7인치 터치스크린: WEINVIEW | |
전기 부품: 슈나이더 | |
기타 매개변수 | 차원: 885*900*1576mm(W*H*D) |
무게: 350kg | |
색상:실버 |
( 2.2) 치수
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