SEM 샘플 준비를 위한 고진공 마그네트론 이온 DC 또는 RF 스퍼터 코팅 코팅기

영업 관리자: 지아

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위챗: 딩치우나

품목 번호:
TMAX-650MH
지불:
L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
선적항:
Xiamen Port
리드타임:
5 Days
자격증 :
CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate
보증 :
Two years limited warranty with lifetime technical support

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제품 세부정보

SEM 샘플 준비를 위한 고진공 마그네트론 이온 DC 또는 RF 스퍼터 코팅 코팅기

소개

높은 진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코팅기는 재료 과학 및 샘플 준비에 이상적이며 설계되었습니다. 이는 금속, 세라믹, 반도체, 절연체 또는 기타 종류의 막 재료 준비를 위해 코팅하기 위해 대부분의 대학 및 재료 과학 및 공학 과학 연구 기관에서 널리 사용됩니다.

고진공 마그네트론 이온 스퍼터링 코팅기는 가장 안정적인 스퍼터링 환경을 제공하며 매우 짧은 시간 내에 마그네트론 스퍼터링의 기본 실험 조건을 달성합니다. 전도성 또는 비전도성 물질을 시편에 스퍼터링하고 PVD(물리적 기상 증착) 성능을 향상시키는 DC/RF 두 가지 스퍼터링 전력 옵션을 제공합니다. 표면처리 및 코팅에도 탁월합니다. 조작이 간편하고 사용자 친화적입니다.

진공펌프와 냉각기가 포함되어 있습니다.

파라미터

진공 pump set	(O필요함) r로타리 v아큐엄 pump+(o없음) turbo moleculan p펌프 세트
로터리 p펌프속도	50Hz: 16 m²/h(4.4L/s)/ 60Hz: 19.2m²/h(5.2L/s)
분자 p펌프 속도	300L/초
진공l제한	5x10^-5Pa
근무 p압박	0.5-5Pa
나청소나	10분(10^-3Pa)
진공 m확실성	측정 범위는 대기에서 1*10^-6Pa까지입니다.
가스 c제어	가스 f낮음 c제어기
챔버크기크기	Ï260*200mm(높이) m금속
마그네트론 t대상 의소스	대상 크기 Ï 50*3mm(Cu)/t대상 소스: weak m자성 s물질 /m재료
작동m방법	사용설명서l
무게/크기크기	길이 100kg/610mm x 너비 420mm x 높이 490mm
전원 공급	AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz
전력 c소모	<3000W
냉각 m방법	에어 c쿨링(pump)+w에어c쿨링(s퍼터링) t대상)
보증	평생 제품 지원이 포함된 1년 제한 보증t