열에 민감한 SEM 샘플 준비를 위한 실험실 마그네트론 탄소 스퍼터링 코팅 열 증발 코팅기

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품목 번호:
TMAX-SD900C
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제품 세부정보

감열 SEM 샘플 준비를 위한 Lab 마그네트론 탄소 스퍼터링 코팅 열 증발 코팅기

소개

마그네트론 이온 스퍼터링 장치&열 증발탄소코터는 실험실 SEM 샘플 준비에 이상적이며 설계되었습니다. SD900C 모델(마그네트론 이온 스퍼터링 장치)은 더 나은 이미징을 위해 비전도성 또는 열에 민감한 SEM 샘플을 Au로 코팅하는 데 널리 사용됩니다. 표면처리에도 탁월하며 기판 시료의 손상을 방지합니다.

SD900C 모델(열증발 탄소 유닛) 카본 코터는 시료 표면에 얇은 전도성 탄소막을 적용합니다. 비전도성 샘플에 이 코팅을 적용하는 것은 SEM 분석을 위한 전하 전자 인공물을 줄이기 위한 효과적인 준비 기술입니다.

적절한 진공 펌프를 사용하면 5분 이내에 작동 진공 압력에 빠르게 도달할 수 있습니다. 사용자 친화적이고 조작이 쉽습니다.

진공펌프가 포함되어 있습니다.

냉각기는 선택 사항입니다. (마그네트론 이온 스퍼터링 장치용)

파라미터

진공 pump set	(O필수) r로타리 vacuum pump
로터리 p펌프 속도	50Hz : 8 m²/h(2.2L/s)/ 60Hz : 9. 6m²/h (2.6 L/s)
진공 l제한	2파
최대 스퍼터링 전류	100mA
최대 증발량 현재	100A
근무 p압박	20Pa -8 Pa
나청소 나	<5 분(2 Pa)
진공 m확실성	측정 범위: 대기 ~ 2*10^-2mbar
가스c제어	가스 f낮음 c제어기
챔버크기크기	Î¦150*120mm(높이) 스크래치 방지 석영 유리
마그네트론 t대상 소스	대상 크기 Ï 50*0.1mm(Au)/ t대상 소스: Au,Ag,Pt
증발 대상 발생원	대상재료:카본로프 /대상소스:카본로프
작동m방법	사용설명서l
(2개)무게/크기크기	55kg/360mm 길이 x 300mm 너비 x 380mm 높이
전력 s공급	AC 110V 60Hz 또는 AC 220V 50Hz
전력c소모	<2000W
냉각 m방법	공기 c냉각(증발)+수냉각(스퍼터링)
보증	평생 제품 지원과 함께 1년 제한 보증t