기판 크기

5-200mmï¼ 표준ï¼/5-600mm ï¼선택ï¼

속도 범위

10- 12000RPMï¼ 표준ï¼

11- 10-20000RPM ï¼선택ï¼

가속 범위

10-30000RPM/Sï¼ 조정 가능

모터 속도 안정성

±1RPM

스핀 코팅 균일성

±1%

가열 범위

상온 -200°C

가열 속도

100…(1S)~200…(2S)

상온까지의 냉각 속도

2초

휴먼머신 인터페이스

8인치 터치스크린

통신 인터페이스

USB(표준) / RS485(표준) /블루투스(옵션)

뒤로

정방향 및 역방향 지원

스타일러스

스타일러스 BAMBOO 저항펜(표준)

진공펌프

SC-550V

데이터 설정

무제한 그룹 데이터,ï¼ 그룹당 10개 속도(표준)

기간당 초

0~10000초

저장 데이터

데이터 무제한

정보보호

전원 차단 보호 기능이 있는 기본값

작동전압(스핀코터)

AC100-250V, 단상, 50/60Hz

작동전압(펌프)

AC220V(표준) AC110V(선택)

펌프 속도

~60L/분

최대진공

-85KPA

소음레벨

…55db

스핀코터 파워

650W

펌프 동력

350W

치수(스핀코터)

340mm(W)X500mm(D)X250mm(H)

챔버 재질

PTFE 재질 전체

중량(스핀코터)

18KG

무게(펌프)

9KG

상대습도

< 85%

주위온도

0-40…

보증

1년