기판 크기

5mm ~ 150mm - 6인치 -

속도 범위

50-12000RPM

가속 범위

10- 10000RPM/속도 조절 가능

모터 속도 안정성

±1RPM

스핀 코팅 균일성

±1%

접착제 코팅 및 현상 시스템

통합 4채널 접착제 도포 및 개발 관리, 표준 2채널 자동 접착제 도포 및 개발 모듈

휴먼머신 인터페이스

4.3인치 터치스크린

통신 인터페이스

USB 인터페이스, 무선 마우스 및 키보드에 연결 가능: 기기를 장갑 안에 넣을 수 있음

뒤로

정회전 및 역회전 가능

스타일러스

스타일러스 BAMBOO 저항펜(표준)

진공펌프

SC-550V

데이터 설정

무제한 그룹 데이터, 각 그룹 10개 속도(표준)

기간당 초

0~10000초

저장 데이터

데이터 무제한

정보보호

기본적으로 전원 차단 보호 기능 포함

작동전압(스핀코터)

AC100-250V, 단상, 50/60Hz

작동전압(펌프)

AC220V(표준) AC110V(선택)

진공흡착력 조절 가능

예예

펌프 속도

~60L/MIN

최대진공

-85KPA

소음레벨

…55db

스핀코터 파워

200W

펌프 동력

350W

치수(스핀코터)

210mm(W)X220mm(D)X160mm(H)

중량(스핀코터)

10KG

무게(펌프)

9KG

상대습도

< 85%

주위온도

0~40…

보증

1년