기판 크기

5~200mm(표준)/5~600mm(선택)

속도 범위

10-12000RPM(표준)/10-20000RPM(선택 사항)

가속 범위

10-30000RPM/속도 조절 가능

모터 속도 안정성

±1RPM

스핀 코팅 균일성

±1%

자동 접착제 분배

예예

휴먼머신 인터페이스

8인치 터치스크린

통신 인터페이스

USB(표준), RS485 통신(표준)MODBUS-RTU 프로토콜을 사용하여 무선 마우스 및 키보드에 연결 가능

풋 페달 기능

예예

뒤로

정회전 및 역회전 가능

스타일러스

스타일러스 BAMBOO 저항펜(표준)

타사 옵션

로지텍 무선 마우스/무선 키보드/Kingston 2G 디스크

진공펌프

SC-550V

데이터 설정

무제한 그룹 데이터, 각 그룹 15개 속도(표준)

기간당 초

0~10000초

저장 데이터

데이터 무제한

정보보호

전원 차단 보호 기능이 있는 기본값

작동전압(스핀코터)

AC100-250V, 단상, 50/60Hz

작동전압(펌프)

AC220V(표준) AC110V(선택)

펌프 속도

~60L/분

최대진공

-85KPA

소음레벨

…55db

스핀코터 파워

650W

펌프 동력

350W

치수(스핀코터)

340mm(W)X500mm(D)X250mm(H)

중량(스핀코터)

18KG

무게(펌프)

9KG

상대습도

< 85%

주위온도

0~40…

보증

1년