기판 크기

5-200mm (표준)/5-600mm (선택)

속도 범위

10- 12000RPM (표준)/10-20000RPM (선택)

가속 범위

10-30000RPM/Sï¼ 조정 가능

모터 속도 안정성

±1RPM

스핀 코팅 균일성

±1%

휴먼머신 인터페이스

8~인치 터치 화면

통신 인터페이스

USB (표준), RS485 통신(표준d)MODBUS-RTU 프로토콜 사용, 무선 마우스 및 키보드에 연결 가능

뒤로

정회전 및 역회전 가능

스타일러스

스타일러스 BAMBOO 저항펜(표준)

타사 옵션

로지텍 무선 마우스/무선 키보드/Kingston 2G 디스크

진공펌프

SC-550V

설정 데이터

무제한 그룹 데이터, 각 그룹 15 속도 (표준)

기간당 초

0- 10000초

저장 데이터

데이터 무제한

정보보호

기본적으로 전원 차단 보호 기능켜짐

작동전압(스핀코터)

AC100-250V, 단 상, 50/60Hz

작동전압(펌프)

AC220V(표준) AC110V(선택)

펌프 속도

~60L/최소

최대진공

-85인민군

소음레벨

…55db

스핀코터 파워

650W

펌프 동력

350W

치수(스핀코터)

340mm(W)X500mm(D)X250mm(H)

중량(스핀코터)

18KG

무게(펌프)

9KG

상대습도

< 85%

주위온도

0-40…

보증

1년