실험실 1200C 단일 구역 관상로 CVD 체계 그만큼 CVD 체계 으로 구성되다 가스 공급 시스템 + 관로 + 진공 시스템 , 최대 온도는 1200 도, 1400 도, 1600 도 및 1700 도. 가열 영역은 단일 온도 영역, 이중 온도 영역, 3 개의 온도 영역 등이 될 수 있습니다. 궁극적 인 진공은 도달 할 수 있습니다. 10-3Pa . 가스 공급 시스템은 질량 유량계 또는 플로트 유량계 흐름 규제. 믹싱 채널 수는 2 채널, 3 채널, 4 채널 및 5 채널이 될 수 있습니다. 관로의 상세한 기술적 인 매개 변수 유형 1200-I 1200-II 1200-III 1200V 1200-VI 1200-VII 힘 3.5KW 3.5KW 3.5KW 5KW 6KW 7KW 튜브 크기 (OD (mm) 직경 60 X1000 Dia80X1000 Dia100X1000 Dia150X1000 Dia200X1000 Dia250X1000 치수 1140X450X690 1140X450X690 1140X450X690 1110X530X755 1120X580X805 1314X680X905 전원 전압 220V 단계 단상 발열체 저항선 온도 조절 UAV 프로그램 온도 제어 기기 (표준) 1, 30 단 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 함께 과열 보호, 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. 온도가 과열 또는 고장, ( 전기로 온도가 1200 도를 초과하거나 열전대가 끊어지면 주 회로의 AC 릴레이가 자동으로 차단되고 주 회로가 파손됩니다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시 등 꺼짐, 꺼짐 표시 등 켜짐, 제한된 보호 전기로). 3, 485 통신 인터페이스 (표준 구매시 소프트웨어) 4, 전원 끄기 보호 기능, 즉, when 전원이 꺼진 후 전원이 켜지면 프로그램이 시작되지 않습니다. from 시작 온도, 그러나 퍼니스 온도 상승 from 정전시 5, 미터는 온도 자체 조정 (수입 된 악기를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다. 선택 사항) FP93 온도 조절기 (shimashima, 일본) 유럽 ​​악기 터치 스크린 악기 챔버 재료 1. 고품질 고순도 진공 흡입 여과에 의해 형성된 알루미나 다결정 섬유 경화로. 2. 일본 기술에 의해 형성됨. 3. 용광로의 저항선 간격과 피치는 모두 일본 최고의 열 기술에 따라 배열되며 온도 필드는 열 소프트웨어로 시뮬레이션됩니다. 밸브 및 플랜지 60 / 80 / 100 상단 전망온도 교정 (선택 사항) 튜브 퍼니스의 정기적 인 온도 보정은 퍼니스 온도의 정확성과 균일 성을 유지합니다. 당신 간단한 교정 도구를 구입할 수 있습니다. from 이 일을 도와 줄 회사 완전한 교정 키트에는 표준 열전대 S 형, 온도 교정기가 포함됩니다. 제어 정확도 + / - 1 ℃ 방아쇠 위상 편이 방아쇠 전기기구 절강 chint 실리콘 제어 106 / 16ESEMIKRON 최대 온도 1200 ℃ 정격 온도 1150 ℃ 가열 속도 ≤30 ℃ / Min ( 필수대로 수정 가능) 권장 온도 상승률 ≤15 ℃ / 분 열전대 유형 k 유형 가열 길이 400 ~ 440mm 일정한 온도 길이 150mm 온도 필드 곡선 주변 표면 온도 ≤45 ℃ 오픈 커버 보호 시스템 시기 퍼니스 커버가 열리면 릴레이가 자동으로 주 전원 공급을 차단하여 사용자의 안전을 효과적으로 보장합니다. VS-0.1 진공 시스템 (VRD16) 시스템 (관로의 진공을 0.6Pa로 펌핑 할 수 있음) 흡입 플랜지로 구성 (자체 제작) KF25 인터페이스, 고진공 배플 방식, 저항 진공 게이지, 벨로우즈, 브래킷 (수제), 진공 펌프는 플랜지 출구에 티 파이프를 연결하고, 저항 실리콘을 3 방향 파이프의 한쪽 끝에 연결하고, 고진공 플래퍼 밸브를 다른 쪽 끝은 Dia25의 주름으로 플래퍼 밸브와 진공 펌프를 연결하고 KF25 연결 포트 용 퀵 클램프 . 1. 압력 감지 시스템 ZDR-I / ZDR-I-LED 유형 단일 저항 진공 게이지저항 진공 게이지 ( Pirani 진공 게이지) 특별히 안정화 된 ZJ-52T 저항 게이지를 사용하고 새로운 항온 작동 모드를 상수 전력에 적용합니다. 동시에 마이크로 프로세서를 사용하여 비선형 성 규정의. 선형 처리. 안정적인 성능, 넓은 측정 범위, 빠른 응답 및 작은 드리프트의 특성을 가지고 있습니다. 그리고 강력하고 신뢰할 수있는 마이크로 프로세서 기반 릴레이 제어, 직렬 통신 출력, 진공 아날로그 출력 및 기타 기능. 거칠고 낮은 진공 측정 및 진공 제어에 특히 적합합니다. 2. 기술 매개 변수 : * 배포 규정 : ZJ-52T 저항 게이지 * 측정 범위 : 10 5 ～ 10 -1 아빠 * 측정 수 : 편도 * 제어 채널 수 : 2 개 도로를 4 개 또는 8 개 도로로 확장 할 수 있습니다. * 제어 범위 : 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 아빠 * 제어 모드 : 릴레이 접점 출력, 부하 용량 AC220V / 3A (또는 DC28V / 3A) 비유 도성 하중 * 전원 : 90-260V / 50Hz 또는 220V ± 10 % 50Hz * 전력 소비 : 25W * 무게 : 4Kg / 3Kg / 0.5Kg (에 따라 섀시) * 섀시 크기 : 240 × 88 × 280 또는 265 × 119 × 280 또는 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 또는 480 × 119 × 280 (너비 × 높이 × 깊이) 3. 성능 특성 : * LED 녹색 화면 디지털 디스플레이. * 다양한 별 조사 * 빠른 응답 속도 * 마이크로 컴퓨터 보정은 비선형 성 측정 오류를 줄입니다. * 광학 절연, 디지털 필터링, 향상된 간섭 방지 능력. * pvc 컬러 패널, 아름다운 외관. * 포인트 제어 또는 영역 릴레이 제어 출력, 설정 포인트는 power-down 보호 메모리 기능. 4. 채택 VRD16 진공 펌프 VRD16 기술 용어 사양 VRD-16 펌핑 speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4.4 L / s 60Hz 19.2 m³ / h 5.2 L / s 부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-2 총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-1 총 압력 제한 - 가스 밸러스트 （Pa） 8x10-1 전원 공급 단일 단계 / three 단계모터 힘 (KW) 0.75 KW / 0.55 kw 입구 / 출구 connectionDN KF25 오일 용량 0.9-1.5 엘모터 속도 (rpm) 50Hz 1440 rpm 2 채널 질량 유량계 가스 공급 시스템 1. 개요 1) 가스는 실린더에서 나와 감압 밸브를 통해 감압되고 PTFE 가스 공급 시스템의 입구에 튜브를 연결 한 다음 질량 유량계를 통해 가스 흐름을 제어 한 다음 가스 혼합 탱크를 통과 한 다음 노 입구로 들어가 가스가 배출됩니다. 기관이 나오고 3 방향 밸브를 통과하고 한쪽 끝이 진공 펌프에 연결되고 한쪽 끝이 공기 배출구에 연결됩니다. 2) 압력 게이지는 가스 혼합 탱크에 연결되고 압력 게이지 디스플레이 디스크와 질량 유량계 동일한 패널에 설치됩니다. 3) 각 가스 라인에는 고압 차단 안전을위한 밸브. 4) 가스 경로는 고정밀 가스 플로트 유량계 및 가스 경로의 내부 부분은 PTFE 내식성이 좋은 튜브 5) 모든 조인트는 기밀성과 내압성이 우수한 페룰로 연결됩니다. 2. 기술 매개 변수 : 공기 채널 : 2공압 흐름 제어 : 질량 유량 컨트롤러. 인터페이스 : Φ6 디스플레이 : 주도작업 환경 온도 : 5 ~ 45 ° C 흐름 컨트롤러 : 질량 유량 컨트롤러 (자세한 기술 매개 변수는 아래 참조) PTFE 튜브 : Φ6 외부 XΦ4 압력 진공 게이지 : -0.1 ~ 0.15 MPa, 0.01 MPa / division 글로브 밸브 : Φ6 3. 가스 공급 시스템의 내부 압력 너무 크지 않으면 가스가 정상적으로 유출 될 수있는 한 쉽게 공기 누출이 발생할 수 있습니다. 4. 가스 공급 장치 구성 시스템 : 1) 질량 유량계 : 2 2) 압력 게이지 : 1 3) 차단 밸브 : 삼 4) 보드를 통해 커넥터 : 삼 5) 밸브 커넥터 : 2 6) 실린더 조인트 : 2 7) 테플론 튜브 : 1,000 만 8) 통기 탱크 : 1 9) 용광로 랙 : 1 세트질량 유량계 기술 매개 변수 : 질량 유량 컨트롤러 공통 유형, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 차단하기 쉽지 않음. 주요 표시기 : 범위 : 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (사용자 범위를 임의로 선택할 수 있음) • 정확도 : ± 1.5 % F.S • 선형 : ± 0.5 ~ 1.5 % F.S • 반복성 : ± 0.2 % F.S • 응답 시간 : 10 초 • 기압 드롭 :

1600C PECVD 가스 공급 시스템 및 진공 시스템을 갖춘 퍼니스 PECVD 시스템은 관로, 석영 진공 챔버, 진공 시스템, 가스 공급 시스템 및 무선 주파수 전원 공급 시스템으로 구성됩니다. 주로 사용되는 용도 : 금속 박막, 세라믹 박막, 복합 박막, 그래 핀 등의 성장으로 기능 추가가 용이하고 플라즈마 세정, 식각 등의 기능을 확장 할 수 있습니다. PECVD 시스템은 높은 성막 속도, 우수한 균일 성, 높은 일관성 및 안정성의 장점을 가지고 있습니다. 자세한 기술 매개 변수 모델 TL1600-I 힘 5KW 튜브 크기 (OD) (mm) 고순도 커런덤 튜브 : 60mm (튜브 직경) 두 개의 퍼니스 플러그가 각면에 배치됩니다. 퍼니스 플러그는 퍼니스 튜브 중앙의 열 복사를 차단할 수 있으며 가열하기 전에 퍼니스의 올바른 위치에 놓아야합니다. 치수 1120X490X855 전원 전압 220V 단계 단상 발열체 1800 모델 실리콘 몰리브덴 바 온도 제어 유형사용 Yudian 프로그램 온도 제어 기기 (표준) 1. 30- 세그먼트 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 함께 과열 보호, 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. 온도가 과열 또는 when 부부는 부러졌다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시 등 꺼짐, 꺼짐 표시 등 켜짐, 전기로 제한적으로 보호됨). 3. 함께 485 통신 인터페이스 (standard with optional software) 4. 정전 보호 기능이 있습니다. 즉, when 전원이 꺼진 후 퍼니스의 전원이 켜지면 프로그램이 시작되지 않습니다. from 초기 온도, 그러나 시작 from 노 온도 언제 전원이 꺼져 있습니다. 5. 미터에는 온도 자체 조정 기능이 있습니다. (수입 된 악기를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다. 선택 사항) FP93 악기 EUROTHERM 악기 터치 스크린 악기(shimaden, 일본) 챔버 재료 1. 난로 재료는 고품질 알루미나 다결정 섬유로 만들어집니다. 2. 내부로의 표면은 수입 1800 방사율을 높일 수있는 고온 알루미나 코팅 온도 장을보다 균형하게 만듭니다. 밸브 및 플랜지 제어 정밀도 + / - 1 ℃ 방아쇠 위상 편이 방아쇠 전기기구 절강 chint 실리콘 제어 106 / 16E 세 미크론 최대 임시 1600 ℃ 정격 온도 1550 ℃ 가열 속도 ≤20 ℃ / Min ( 필수대로 수정 가능) 권장 가열 속도 ≤10 ℃ / 분 열전대 모델 b 유형 가열 섹션의 길이 300mm 주변 표면 온도 ≤45 ℃ 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템은 튜브로 튜브의 진공도를 0.1Pa (및 저항 진공 게이지 장착 디스플레이 장착)로 그릴 수 있습니다. 함께 led 녹색 화면 디지털 디스플레이. 채택 VRD16 진공 펌프 VRD16 기술 용어 사양 VRD-16 펌핑 speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4.4 L / s 60Hz 19.2 m³ / h 5.2 L / s 부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-2 총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-1 총 압력 제한 - 가스 밸러스트 （Pa） 8x10-1 전원 공급 단일 단계 / three 단계모터 힘 (KW) 0.75 KW / 0.55 kw 입구 / 출구 connectionDN KF25 오일 용량 0.9-1.5 엘모터 속도 (rpm) 50Hz 1440 rpm 가스 공급 시스템 가스 유량계 가스 공급 시스템기술 매개 변수 : l 공압 채널 : 6l 공압 흐름 제어 : 질량 유량계를 사용하십시오. l 캐비닛 크기 : 600X600X600mm l 함께 LED 디스플레이l 질량 유량계의 기술적 인 매개 변수 : 상호 작용 Φ6 디스플레이 주도 작업 환경 온도 5 ~ 45 ℃ 흐름 컨트롤러 양성자 흐름 컨트롤러가 사용됩니다. 뒷면을 참조하십시오. 스테인레스 스틸 튜브 Φ6 외부 x Φ4 내부 압력 진공 테이블 -0.1 ~ 0.15 MPa, 0.01 MPa / div 스톱 밸브 Φ6 흐름 제어 PLC 지능형 제어질량 흐름의 기술적 매개 변수 컨트롤러 : 제품 설명 : 공통 유형, 아날로그 회로제품 상세 설명 : 일반형, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 차단하기 쉽지 않음. 주요 표시기 : 범위 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (선택 가능 범위) 언제 당신은 주문합니다 정확성 ± 1 % F.S 선의 0.5 % F.S 반복성 ± 0.2 % F.S 응답 시간 1 초 기압 강하

1600C PECVD 가스 공급 시스템 및 진공 시스템을 갖춘 퍼니스 PECVD 시스템은 관로, 석영 진공 챔버, 진공 시스템, 가스 공급 시스템 및 무선 주파수 전원 공급 시스템으로 구성됩니다. 주로 사용되는 용도 : 금속 박막, 세라믹 박막, 복합 박막, 그래 핀 등의 성장으로 기능 추가가 용이하고 플라즈마 세정, 식각 등의 기능을 확장 할 수 있습니다. PECVD 시스템은 높은 성막 속도, 우수한 균일 성, 높은 일관성 및 안정성의 장점을 가지고 있습니다. 자세한 기술 매개 변수 모델 TL1600-I 힘 5KW 튜브 크기 (OD) (mm) 고순도 커런덤 튜브 : 60mm (튜브 직경) 두 개의 퍼니스 플러그가 각면에 배치됩니다. 퍼니스 플러그는 퍼니스 튜브 중앙의 열 복사를 차단할 수 있으며 가열하기 전에 퍼니스의 올바른 위치에 놓아야합니다. 치수 1120X490X855 전원 전압 220V 단계 단상 발열체 1800 모델 실리콘 몰리브덴 바 온도 제어 유형사용 Yudian 프로그램 온도 제어 기기 (표준) 1. 30- 세그먼트 프로그램 온도 제어 지능형 PID 조정. 2. 함께 과열 보호, 전기로 가열 회로가 자동으로 차단됩니다. 온도가 과열 또는 when 부부는 부러졌다. 켜짐, 패널의 켜짐 표시 등 꺼짐, 꺼짐 표시 등 켜짐, 전기로 제한적으로 보호됨). 3. 함께 485 통신 인터페이스 (standard with optional software) 4. 정전 보호 기능이 있습니다. 즉, when 전원이 꺼진 후 퍼니스의 전원이 켜지면 프로그램이 시작되지 않습니다. from 초기 온도, 그러나 시작 from 노 온도 언제 전원이 꺼져 있습니다. 5. 미터에는 온도 자체 조정 기능이 있습니다. (수입 된 악기를 교체하려면 추가 비용을 지불해야합니다. 선택 사항) FP93 악기 EUROTHERM 악기 터치 스크린 악기(shimaden, 일본) 챔버 재료 1. 난로 재료는 고품질 알루미나 다결정 섬유로 만들어집니다. 2. 내부로의 표면은 수입 1800 방사율을 높일 수있는 고온 알루미나 코팅 온도 장을보다 균형하게 만듭니다. 밸브 및 플랜지 제어 정밀도 + / - 1 ℃ 방아쇠 위상 편이 방아쇠 전기기구 절강 chint 실리콘 제어 106 / 16E 세 미크론 최대 임시 1600 ℃ 정격 온도 1550 ℃ 가열 속도 ≤20 ℃ / Min ( 필수대로 수정 가능) 권장 가열 속도 ≤10 ℃ / 분 열전대 모델 b 유형 가열 섹션의 길이 300mm 주변 표면 온도 ≤45 ℃ 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템 VS-0.1 진공 시스템은 튜브로 튜브의 진공도를 0.1Pa (및 저항 진공 게이지 장착 디스플레이 장착)로 그릴 수 있습니다. 함께 led 녹색 화면 디지털 디스플레이. 채택 VRD16 진공 펌프 VRD16 기술 용어 사양 VRD-16 펌핑 speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4.4 L / s 60Hz 19.2 m³ / h 5.2 L / s 부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-2 총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-1 총 압력 제한 - 가스 밸러스트 （Pa） 8x10-1 전원 공급 단일 단계 / three 단계모터 힘 (KW) 0.75 KW / 0.55 kw 입구 / 출구 connectionDN KF25 오일 용량 0.9-1.5 엘모터 속도 (rpm) 50Hz 1440 rpm 가스 공급 시스템 가스 유량계 가스 공급 시스템기술 매개 변수 : l 공압 채널 : 6l 공압 흐름 제어 : 질량 유량계를 사용하십시오. l 캐비닛 크기 : 600X600X600mm l 함께 LED 디스플레이l 질량 유량계의 기술적 인 매개 변수 : 상호 작용 Φ6 디스플레이 주도 작업 환경 온도 5 ~ 45 ℃ 흐름 컨트롤러 양성자 흐름 컨트롤러가 사용됩니다. 뒷면을 참조하십시오. 스테인레스 스틸 튜브 Φ6 외부 x Φ4 내부 압력 진공 테이블 -0.1 ~ 0.15 MPa, 0.01 MPa / div 스톱 밸브 Φ6 흐름 제어 PLC 지능형 제어질량 흐름의 기술적 매개 변수 컨트롤러 : 제품 설명 : 공통 유형, 아날로그 회로제품 상세 설명 : 일반형, 아날로그 회로, 고무 씰, 관형 션트, 차단하기 쉽지 않음. 주요 표시기 : 범위 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (선택 가능 범위) 언제 당신은 주문합니다 정확성 ± 1 % F.S 선의 0.5 % F.S 반복성 ± 0.2 % F.S 응답 시간 1 초 기압 강하

VRD16 이있는 진공 시스템 CVD 용 진공 펌프 체계 I. 개요시스템 (관로의 진공을 0.6Pa로 펌핑 할 수 있음) 흡입 플랜지로 구성 (자체 제작) KF25 인터페이스, 고진공 배플 방식, 저항 진공 게이지, 벨로우즈, 브래킷 (수제), 진공 펌프는 플랜지 출구에 티 파이프를 연결하고, 저항 실리콘을 3 방향 파이프의 한쪽 끝에 연결하고, 고진공 플래퍼 밸브를 다른 쪽 끝은 Dia25의 주름으로 플래퍼 밸브와 진공 펌프를 연결하고 KF25 연결 포트 용 퀵 클램프 . 2. 압력 감지 시스템 ZDR-I / ZDR-I-LED 유형 단일 저항 진공 게이지저항 진공 게이지 ( Pirani 진공 게이지) 특별히 안정화 된 ZJ-52T 저항 게이지를 사용하고 새로운 항온 작동 모드를 상수 전력에 적용합니다. 동시에 마이크로 프로세서를 사용하여 비선형 성 규정의. 선형 처리. 안정적인 성능, 넓은 측정 범위, 빠른 응답 및 작은 드리프트의 특성을 가지고 있습니다. 그리고 강력하고 신뢰할 수있는 마이크로 프로세서 기반 릴레이 제어, 직렬 통신 출력, 진공 아날로그 출력 및 기타 기능. 거칠고 낮은 진공 측정 및 진공 제어에 특히 적합합니다. 기술 매개 변수 : * 배포 규정 : ZJ-52T 저항 게이지 * 측정 범위 : 10 5 ～ 10 -1 아빠 * 측정 수 : 편도 * 제어 채널 수 : 2 개 도로를 4 개 또는 8 개 도로로 확장 할 수 있습니다. * 제어 범위 : 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 아빠 * 제어 모드 : 릴레이 접점 출력, 부하 용량 AC220V / 3A (또는 DC28V / 3A) 비유 도성 하중 * 전원 : 90-260V / 50Hz 또는 220V ± 10 % 50Hz * 전력 소비 : 25W * 무게 : 4Kg / 3Kg / 0.5Kg (에 따라 섀시) * 섀시 크기 : 240 × 88 × 280 또는 265 × 119 × 280 또는 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 또는 480 × 119 × 280 (너비 × 높이 × 깊이) 성능 특성 : * LED 녹색 화면 디지털 디스플레이. * 다양한 별 조사 * 빠른 응답 속도 * 마이크로 컴퓨터 보정은 비선형 성 측정 오류를 줄입니다. * 광학 절연, 디지털 필터링, 향상된 간섭 방지 능력. * pvc 컬러 패널, 아름다운 외관. * 포인트 제어 또는 영역 릴레이 제어 출력, 설정 포인트는 power-down 보호 메모리 기능. 3. 채택 VRD16 진공 펌프 VRD16 기술 용어 사양 VRD-16 펌핑 speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4.4 L / s 60Hz 19.2 m³ / h 5.2 L / s 부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-2 총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-1 총 압력 제한 - 가스 밸러스트 （Pa） 8x10-1 전원 공급 단일 단계 / three 단계모터 힘 (KW) 0.75 KW / 0.55 kw 입구 / 출구 connectionDN KF25 오일 용량 0.9-1.5 엘모터 속도 (rpm) 50Hz 1440 rpm내 보낸 표준 1 개 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장. 2 익스프레스, 항공, 해상 운송 customers ' 가장 적합한 방법을 찾기위한 요구 사항 3 피해에 대한 책임 중 배송 과정에서 손상 부분을 무료로 변경해드립니다.

PECVD 용 RF 전원 공급 장치 PECVD 시스템은 관로, 석영 진공 챔버, 진공 시스템, 가스 공급 시스템 및 무선 주파수 전원 공급 시스템으로 구성됩니다. 주로 사용되는 용도 : 금속 박막, 세라믹 박막, 복합 박막, 그래 핀 등의 성장으로 기능 추가가 용이하고 플라즈마 세정, 식각 등의 기능을 확장 할 수 있습니다. PECVD 시스템은 높은 성막 속도, 우수한 균일 성, 높은 일관성 및 안정성의 장점을 가지고 있습니다. RF 전원의 주요 기술 매개 변수 공급 : 전력 출력 범위 0-500W 최대 반사 전력 200W 작동 주파수 RF : 13.56MHZ ± 0.005 % 전력 안정성 + / -0.1 % 고조파 성분 ≤-50dbc rf 영역 너비 0-600mm 조정 가능 일치하는 방법 자동적 인 냉각 모드 추위 소음

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