VRD16 이있는 진공 시스템 CVD 용 진공 펌프 체계 I. 개요시스템 (관로의 진공을 0.6Pa로 펌핑 할 수 있음) 흡입 플랜지로 구성 (자체 제작) KF25 인터페이스, 고진공 배플 방식, 저항 진공 게이지, 벨로우즈, 브래킷 (수제), 진공 펌프는 플랜지 출구에 티 파이프를 연결하고, 저항 실리콘을 3 방향 파이프의 한쪽 끝에 연결하고, 고진공 플래퍼 밸브를 다른 쪽 끝은 Dia25의 주름으로 플래퍼 밸브와 진공 펌프를 연결하고 KF25 연결 포트 용 퀵 클램프 . 2. 압력 감지 시스템 ZDR-I / ZDR-I-LED 유형 단일 저항 진공 게이지저항 진공 게이지 ( Pirani 진공 게이지) 특별히 안정화 된 ZJ-52T 저항 게이지를 사용하고 새로운 항온 작동 모드를 상수 전력에 적용합니다. 동시에 마이크로 프로세서를 사용하여 비선형 성 규정의. 선형 처리. 안정적인 성능, 넓은 측정 범위, 빠른 응답 및 작은 드리프트의 특성을 가지고 있습니다. 그리고 강력하고 신뢰할 수있는 마이크로 프로세서 기반 릴레이 제어, 직렬 통신 출력, 진공 아날로그 출력 및 기타 기능. 거칠고 낮은 진공 측정 및 진공 제어에 특히 적합합니다. 기술 매개 변수 : * 배포 규정 : ZJ-52T 저항 게이지 * 측정 범위 : 10 5 ～ 10 -1 아빠 * 측정 수 : 편도 * 제어 채널 수 : 2 개 도로를 4 개 또는 8 개 도로로 확장 할 수 있습니다. * 제어 범위 : 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 아빠 * 제어 모드 : 릴레이 접점 출력, 부하 용량 AC220V / 3A (또는 DC28V / 3A) 비유 도성 하중 * 전원 : 90-260V / 50Hz 또는 220V ± 10 % 50Hz * 전력 소비 : 25W * 무게 : 4Kg / 3Kg / 0.5Kg (에 따라 섀시) * 섀시 크기 : 240 × 88 × 280 또는 265 × 119 × 280 또는 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 또는 480 × 119 × 280 (너비 × 높이 × 깊이) 성능 특성 : * LED 녹색 화면 디지털 디스플레이. * 다양한 별 조사 * 빠른 응답 속도 * 마이크로 컴퓨터 보정은 비선형 성 측정 오류를 줄입니다. * 광학 절연, 디지털 필터링, 향상된 간섭 방지 능력. * pvc 컬러 패널, 아름다운 외관. * 포인트 제어 또는 영역 릴레이 제어 출력, 설정 포인트는 power-down 보호 메모리 기능. 3. 채택 VRD16 진공 펌프 VRD16 기술 용어 사양 VRD-16 펌핑 speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4.4 L / s 60Hz 19.2 m³ / h 5.2 L / s 부분 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-2 총 압력 제한 - 가스 없음 밸러스트 （Pa） 4x10-1 총 압력 제한 - 가스 밸러스트 （Pa） 8x10-1 전원 공급 단일 단계 / three 단계모터 힘 (KW) 0.75 KW / 0.55 kw 입구 / 출구 connectionDN KF25 오일 용량 0.9-1.5 엘모터 속도 (rpm) 50Hz 1440 rpm내 보낸 표준 1 개 패키지 : 내부 충돌 방지 보호, 외부 수출 나무 상자 포장. 2 익스프레스, 항공, 해상 운송 customers ' 가장 적합한 방법을 찾기위한 요구 사항 3 피해에 대한 책임 중 배송 과정에서 손상 부분을 무료로 변경해드립니다.